控制工程
控製工程
공제공정
CONTROL ENGINEERING OF CHINA
2012年
6期
1271-1273,1278
,共4页
垂直扫描白光干涉%控制系统%压电陶瓷%自动扫描
垂直掃描白光榦涉%控製繫統%壓電陶瓷%自動掃描
수직소묘백광간섭%공제계통%압전도자%자동소묘
vertical scanning white-light interference%control system%piezoelectric ceramic%automatic scanning
为提高垂直扫描白光干涉仪的测量精度,采用粗精双级控制结构分别单独控制对焦与垂直扫描两个过程.基于自动扫描技术驱动步进电机单轴驱动器完成对干涉区域的自动搜索；针对压电陶瓷微位移器的非线性和迟滞特性,采用多项式拟合方法对其进行补偿修正.根据多项式拟合函数控制压电陶瓷驱动电压,驱动控制压电陶瓷微位移器在垂直方向的微位移.实验验证了控制方法的有效性,提高了垂直扫描白光干涉仪的测量精度,控制行程15 μm,精度0.03 μm.
為提高垂直掃描白光榦涉儀的測量精度,採用粗精雙級控製結構分彆單獨控製對焦與垂直掃描兩箇過程.基于自動掃描技術驅動步進電機單軸驅動器完成對榦涉區域的自動搜索；針對壓電陶瓷微位移器的非線性和遲滯特性,採用多項式擬閤方法對其進行補償脩正.根據多項式擬閤函數控製壓電陶瓷驅動電壓,驅動控製壓電陶瓷微位移器在垂直方嚮的微位移.實驗驗證瞭控製方法的有效性,提高瞭垂直掃描白光榦涉儀的測量精度,控製行程15 μm,精度0.03 μm.
위제고수직소묘백광간섭의적측량정도,채용조정쌍급공제결구분별단독공제대초여수직소묘량개과정.기우자동소묘기술구동보진전궤단축구동기완성대간섭구역적자동수색；침대압전도자미위이기적비선성화지체특성,채용다항식의합방법대기진행보상수정.근거다항식의합함수공제압전도자구동전압,구동공제압전도자미위이기재수직방향적미위이.실험험증료공제방법적유효성,제고료수직소묘백광간섭의적측량정도,공제행정15 μm,정도0.03 μm.
