遥测遥控
遙測遙控
요측요공
JOURNAL OF TELEMETRY,TRACKING, AND COMMAND
2007年
z1期
153-157
,共5页
李小换%张世名%邹其利%郭志萍
李小換%張世名%鄒其利%郭誌萍
리소환%장세명%추기리%곽지평
薄膜压力传感器%灵敏度温度自补偿%灵敏度温度误差
薄膜壓力傳感器%靈敏度溫度自補償%靈敏度溫度誤差
박막압력전감기%령민도온도자보상%령민도온도오차
Sputtering thin-film pressure sensor%Self-temperature-compensation%Sensitivity-temperature-error
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5× 10-4 ～2× 10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一.在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快.对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制.实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高.
濺射薄膜壓力傳感器具有長期穩定性好、耐高溫等優點,但是由于受彈性體材料自身特性的影響,傳感器的靈敏度溫度誤差大,大約在1.5× 10-4 ～2× 10-4/F.S℃,是導緻傳感器測量誤差大的原因之一.在彈性體上設計加工靈敏度溫度補償電阻,使應變電阻和靈敏度溫度誤差補償電阻可以在同一時間感受溫度,比在後續電路上進行溫度補償,溫度響應快.對靈敏度溫度自補償壓力敏感元件進行設計與研製.實測結果錶明,採用靈敏度溫度自補償工藝技術的敏感元件,靈敏度溫度誤差較小,可以控製在0.25×10-4/F.S℃以下,傳感器的溫度性能得到瞭提高.
천사박막압력전감기구유장기은정성호、내고온등우점,단시유우수탄성체재료자신특성적영향,전감기적령민도온도오차대,대약재1.5× 10-4 ～2× 10-4/F.S℃,시도치전감기측량오차대적원인지일.재탄성체상설계가공령민도온도보상전조,사응변전조화령민도온도오차보상전조가이재동일시간감수온도,비재후속전로상진행온도보상,온도향응쾌.대령민도온도자보상압력민감원건진행설계여연제.실측결과표명,채용령민도온도자보상공예기술적민감원건,령민도온도오차교소,가이공제재0.25×10-4/F.S℃이하,전감기적온도성능득도료제고.
