天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
1期
55-58
,共4页
程芳%黄美东%王丽格%杜姗%唐晓红%刘春伟
程芳%黃美東%王麗格%杜姍%唐曉紅%劉春偉
정방%황미동%왕려격%두산%당효홍%류춘위
氧化钛薄膜%磁控溅射%透射率%折射率%光学性能%消光系数%晶体结构
氧化鈦薄膜%磁控濺射%透射率%摺射率%光學性能%消光繫數%晶體結構
양화태박막%자공천사%투사솔%절사솔%광학성능%소광계수%정체결구
常温下,通过反应磁控溅射法在K9双面抛光玻璃基底上制备氧化钛薄膜.采用X线衍射(X-ray Diffraction,XRD)、光栅光谱仪和椭偏仪对氧化钛薄膜样品的结构和光学性能进行测试,并拟合分析得到薄膜的折射率和厚度等光学参数.结果表明:氧化钛纳米薄膜呈非晶态,其折射率和消光系数随波长的变化而变化,薄膜的透射率测量结果和理论计算结果在350～800 nm光波范围内吻合良好.由于氧化钛薄膜的折射率高且在可见光波段吸收小、呈透明状,是用来构成一维光子晶体的理想组分,有关其光学性能的基础研究对光子晶体的结构设计及其器件的开发应用具有积极的意义.
常溫下,通過反應磁控濺射法在K9雙麵拋光玻璃基底上製備氧化鈦薄膜.採用X線衍射(X-ray Diffraction,XRD)、光柵光譜儀和橢偏儀對氧化鈦薄膜樣品的結構和光學性能進行測試,併擬閤分析得到薄膜的摺射率和厚度等光學參數.結果錶明:氧化鈦納米薄膜呈非晶態,其摺射率和消光繫數隨波長的變化而變化,薄膜的透射率測量結果和理論計算結果在350～800 nm光波範圍內吻閤良好.由于氧化鈦薄膜的摺射率高且在可見光波段吸收小、呈透明狀,是用來構成一維光子晶體的理想組分,有關其光學性能的基礎研究對光子晶體的結構設計及其器件的開髮應用具有積極的意義.
상온하,통과반응자공천사법재K9쌍면포광파리기저상제비양화태박막.채용X선연사(X-ray Diffraction,XRD)、광책광보의화타편의대양화태박막양품적결구화광학성능진행측시,병의합분석득도박막적절사솔화후도등광학삼수.결과표명:양화태납미박막정비정태,기절사솔화소광계수수파장적변화이변화,박막적투사솔측량결과화이론계산결과재350～800 nm광파범위내문합량호.유우양화태박막적절사솔고차재가견광파단흡수소、정투명상,시용래구성일유광자정체적이상조분,유관기광학성능적기출연구대광자정체적결구설계급기기건적개발응용구유적겁적의의.
