光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2013年
2期
214-218
,共5页
田爱玲%王会婷%党娟娟%王春慧
田愛玲%王會婷%黨娟娟%王春慧
전애령%왕회정%당연연%왕춘혜
抛光表面%亚表面损伤%共聚焦成像%显微光学%光学散射
拋光錶麵%亞錶麵損傷%共聚焦成像%顯微光學%光學散射
포광표면%아표면손상%공취초성상%현미광학%광학산사
光学元件磨削加工引入的亚表面损伤威胁着光学元件的使用性能及寿命,成为现阶段高能激光发展的瓶颈问题,特别是抛光表面光学元件的亚表面损伤检测已成为光学元件制造行业的研究热点和难点.本文结合光学共聚焦成像、层析技术、显微光学、光学散射以及微弱信号处理等技术,给出了基于光学共焦层析显微成像的光学元件亚表面损伤检测方法.分析了不同针孔大小对测量准确度的影响,并首次给出了亚表面损伤的纵向截面分布图.与腐蚀法比较结果显示:针对自行加工的同一片K9玻璃,采用本文提出的方法测得的亚表面损伤深度45 μm左右；采用化学腐蚀处理技术,对光学元件逐层刻蚀,观察得到的亚表面损伤深度50～55 μm.两者基本一致,进一步验证了本文采用的方法可以实现对光学元件亚表面损伤的定量、非破坏检测.
光學元件磨削加工引入的亞錶麵損傷威脅著光學元件的使用性能及壽命,成為現階段高能激光髮展的瓶頸問題,特彆是拋光錶麵光學元件的亞錶麵損傷檢測已成為光學元件製造行業的研究熱點和難點.本文結閤光學共聚焦成像、層析技術、顯微光學、光學散射以及微弱信號處理等技術,給齣瞭基于光學共焦層析顯微成像的光學元件亞錶麵損傷檢測方法.分析瞭不同針孔大小對測量準確度的影響,併首次給齣瞭亞錶麵損傷的縱嚮截麵分佈圖.與腐蝕法比較結果顯示:針對自行加工的同一片K9玻璃,採用本文提齣的方法測得的亞錶麵損傷深度45 μm左右；採用化學腐蝕處理技術,對光學元件逐層刻蝕,觀察得到的亞錶麵損傷深度50～55 μm.兩者基本一緻,進一步驗證瞭本文採用的方法可以實現對光學元件亞錶麵損傷的定量、非破壞檢測.
광학원건마삭가공인입적아표면손상위협착광학원건적사용성능급수명,성위현계단고능격광발전적병경문제,특별시포광표면광학원건적아표면손상검측이성위광학원건제조행업적연구열점화난점.본문결합광학공취초성상、층석기술、현미광학、광학산사이급미약신호처리등기술,급출료기우광학공초층석현미성상적광학원건아표면손상검측방법.분석료불동침공대소대측량준학도적영향,병수차급출료아표면손상적종향절면분포도.여부식법비교결과현시:침대자행가공적동일편K9파리,채용본문제출적방법측득적아표면손상심도45 μm좌우；채용화학부식처리기술,대광학원건축층각식,관찰득도적아표면손상심도50～55 μm.량자기본일치,진일보험증료본문채용적방법가이실현대광학원건아표면손상적정량、비파배검측.
