光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2013年
2期
132-134
,共3页
徐光辉%柴广跃%黄长统%何黎明%徐健%廖世东%冯丹华
徐光輝%柴廣躍%黃長統%何黎明%徐健%廖世東%馮丹華
서광휘%시엄약%황장통%하려명%서건%료세동%풍단화
光探测器%共面波导微带线%等效电路模型%参量提取
光探測器%共麵波導微帶線%等效電路模型%參量提取
광탐측기%공면파도미대선%등효전로모형%삼량제취
Photodetector%Coplanar waveguide microstrip%Equivalent circuit model%Parameter extraction
针对不能在片测量的光探测器芯片,本文提出了一个简单而有效的实验方案来提取其等效电路模型的高频电参量.首先设计了和微波探针匹配的共面波导微带线,测量其输出反射系数,测试结果与理论设计符合很好；然后将芯片装载到微带线上,测量包含光探测器的整个测试结构的输出反射系数.仿真中涉及光探测器测试结构的等效电路模型,包含光探测器、键合金丝和共面波导微带线等因素.通过拟合已测的整个测试结构的输出反射系数,提取了光探测器的高频电参量.
針對不能在片測量的光探測器芯片,本文提齣瞭一箇簡單而有效的實驗方案來提取其等效電路模型的高頻電參量.首先設計瞭和微波探針匹配的共麵波導微帶線,測量其輸齣反射繫數,測試結果與理論設計符閤很好；然後將芯片裝載到微帶線上,測量包含光探測器的整箇測試結構的輸齣反射繫數.倣真中涉及光探測器測試結構的等效電路模型,包含光探測器、鍵閤金絲和共麵波導微帶線等因素.通過擬閤已測的整箇測試結構的輸齣反射繫數,提取瞭光探測器的高頻電參量.
침대불능재편측량적광탐측기심편,본문제출료일개간단이유효적실험방안래제취기등효전로모형적고빈전삼량.수선설계료화미파탐침필배적공면파도미대선,측량기수출반사계수,측시결과여이론설계부합흔호；연후장심편장재도미대선상,측량포함광탐측기적정개측시결구적수출반사계수.방진중섭급광탐측기측시결구적등효전로모형,포함광탐측기、건합금사화공면파도미대선등인소.통과의합이측적정개측시결구적수출반사계수,제취료광탐측기적고빈전삼량.
