激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2013年
2期
151-154
,共4页
段国平%陈俊领%周德让%韩俊鹤%黄明举
段國平%陳俊領%週德讓%韓俊鶴%黃明舉
단국평%진준령%주덕양%한준학%황명거
激光技术%微晶硅%激光晶化%多晶硅%本征非晶硅
激光技術%微晶硅%激光晶化%多晶硅%本徵非晶硅
격광기술%미정규%격광정화%다정규%본정비정규
为了减低非晶硅薄膜太阳能电池的光致衰减效应和提高其光电转换效率,用等离子体化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,用波长为248nm的KrF准分子激光器激光晶化了非晶硅表层,用共焦显微喇曼测试技术研究了非晶硅薄膜在不同的激光能量密度和不同的频率下的晶化状态,并用扫描电子显微镜测试晶化前后薄膜的形貌.结果表明,随着激光能量密度的增大,薄膜晶化效果越来越好,能量密度达到268.54mJ/cm2时晶化效果最好,此时结晶比约为76.34％；最佳的激光能量密度范围是204.99mJ/cm2～268.54mJ/cm2,这时薄膜表面晶化良好；在1Hz ～ 1OHz范围内,激光频率越大晶化效果越好；晶化后薄膜明显出现微晶和多晶颗粒,从而达到了良好的晶化效果.
為瞭減低非晶硅薄膜太暘能電池的光緻衰減效應和提高其光電轉換效率,用等離子體化學氣相沉積繫統製備瞭本徵非晶硅薄膜,用波長為248nm的KrF準分子激光器激光晶化瞭非晶硅錶層,用共焦顯微喇曼測試技術研究瞭非晶硅薄膜在不同的激光能量密度和不同的頻率下的晶化狀態,併用掃描電子顯微鏡測試晶化前後薄膜的形貌.結果錶明,隨著激光能量密度的增大,薄膜晶化效果越來越好,能量密度達到268.54mJ/cm2時晶化效果最好,此時結晶比約為76.34％；最佳的激光能量密度範圍是204.99mJ/cm2～268.54mJ/cm2,這時薄膜錶麵晶化良好；在1Hz ～ 1OHz範圍內,激光頻率越大晶化效果越好；晶化後薄膜明顯齣現微晶和多晶顆粒,從而達到瞭良好的晶化效果.
위료감저비정규박막태양능전지적광치쇠감효응화제고기광전전환효솔,용등리자체화학기상침적계통제비료본정비정규박막,용파장위248nm적KrF준분자격광기격광정화료비정규표층,용공초현미나만측시기술연구료비정규박막재불동적격광능량밀도화불동적빈솔하적정화상태,병용소묘전자현미경측시정화전후박막적형모.결과표명,수착격광능량밀도적증대,박막정화효과월래월호,능량밀도체도268.54mJ/cm2시정화효과최호,차시결정비약위76.34％；최가적격광능량밀도범위시204.99mJ/cm2～268.54mJ/cm2,저시박막표면정화량호；재1Hz ～ 1OHz범위내,격광빈솔월대정화효과월호；정화후박막명현출현미정화다정과립,종이체도료량호적정화효과.
