制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2013年
3期
60-61
,共2页
张钦亮%苏静洪%王谟%平志韩%雍春娥%祝启蒙%金志杰
張欽亮%囌靜洪%王謨%平誌韓%雍春娥%祝啟矇%金誌傑
장흠량%소정홍%왕모%평지한%옹춘아%축계몽%금지걸
干法刻蚀机%装载腔%自动化
榦法刻蝕機%裝載腔%自動化
간법각식궤%장재강%자동화
为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,研发设计了一种干法等离子体刻蚀机的新型装载腔,可实现3盘、6盘或更多盘数晶片的不间断连续自动化刻蚀,提高了生产效率.
為實現高效連續自動化生產,滿足大規模工業化生產需求,研髮設計瞭一種榦法等離子體刻蝕機的新型裝載腔,可實現3盤、6盤或更多盤數晶片的不間斷連續自動化刻蝕,提高瞭生產效率.
위실현고효련속자동화생산,만족대규모공업화생산수구,연발설계료일충간법등리자체각식궤적신형장재강,가실현3반、6반혹경다반수정편적불간단련속자동화각식,제고료생산효솔.
