CAJ | 학술논문

以乙二醇乙醚为溶剂,异丙醇铝为前驱物,乙酰丙酮为螯合剂,采用溶胶-凝胶法和旋转涂覆工艺,在不同衬底上制备了氧化铝薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和金相显微镜等手段对薄膜的微观结构和表面形貌进行了表征.结果表明,溶胶-凝胶法制得的薄膜为无定形结构,表面均匀、致密、无裂纹.通过对薄膜电流密度与电场和时间(J-E和J-t)曲线的测量,对薄膜的电学性能进行了研究.薄膜击穿场强约为2.0～3.0MV/cm,在电场强度为0.5MV/cm时,漏电流密度约为9.0×10-6 A/cm2.
이을이순을미위용제,이병순려위전구물,을선병동위오합제,채용용효-응효법화선전도복공예,재불동츤저상제비료양화려박막.통과X사선연사의(XRD)、장발사소묘전자현미경(FESEM)화금상현미경등수단대박막적미관결구화표면형모진행료표정.결과표명,용효-응효법제득적박막위무정형결구,표면균균、치밀、무렬문.통과대박막전류밀도여전장화시간(J-E화J-t)곡선적측량,대박막적전학성능진행료연구.박막격천장강약위2.0～3.0MV/cm,재전장강도위0.5MV/cm시,루전류밀도약위9.0×10-6 A/cm2.