功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
4期
577-580
,共4页
艾明哲%贾雅婷%陈忠志%徐慧中%彭斌
艾明哲%賈雅婷%陳忠誌%徐慧中%彭斌
애명철%가아정%진충지%서혜중%팽빈
各向异性磁阻%NiFe薄膜%缓冲层%磁阻开关
各嚮異性磁阻%NiFe薄膜%緩遲層%磁阻開關
각향이성자조%NiFe박막%완충층%자조개관
采用射频磁控溅射法用Ta作为缓冲层,在集成电路晶元上制备NiFe薄膜,并研究分析了Ta缓冲层厚度以及Ta缓冲层溅射功率对NiFe磁阻薄膜性能的影响,通过测试结果可以得到,当溅射功率由小变大时,NiFe薄膜的磁阻值也由小变到大.当Ta层的厚度在5nm左右时,NiFe更容易形成(111)织构,这时其磁阻值也最大.利用优化后的工艺,在晶元上制备NiFe薄膜,测试结果显示出开关特性,其开关场分别在398和796A/m左右.
採用射頻磁控濺射法用Ta作為緩遲層,在集成電路晶元上製備NiFe薄膜,併研究分析瞭Ta緩遲層厚度以及Ta緩遲層濺射功率對NiFe磁阻薄膜性能的影響,通過測試結果可以得到,噹濺射功率由小變大時,NiFe薄膜的磁阻值也由小變到大.噹Ta層的厚度在5nm左右時,NiFe更容易形成(111)織構,這時其磁阻值也最大.利用優化後的工藝,在晶元上製備NiFe薄膜,測試結果顯示齣開關特性,其開關場分彆在398和796A/m左右.
채용사빈자공천사법용Ta작위완충층,재집성전로정원상제비NiFe박막,병연구분석료Ta완충층후도이급Ta완충층천사공솔대NiFe자조박막성능적영향,통과측시결과가이득도,당천사공솔유소변대시,NiFe박막적자조치야유소변도대.당Ta층적후도재5nm좌우시,NiFe경용역형성(111)직구,저시기자조치야최대.이용우화후적공예,재정원상제비NiFe박막,측시결과현시출개관특성,기개관장분별재398화796A/m좌우.
