功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
4期
483-487
,共5页
邢永燕%魏贤华%马拥军%代波
邢永燕%魏賢華%馬擁軍%代波
형영연%위현화%마옹군%대파
薄膜%磁控溅射%微观结构%抗腐蚀性能%力学性能
薄膜%磁控濺射%微觀結構%抗腐蝕性能%力學性能
박막%자공천사%미관결구%항부식성능%역학성능
通过磁控溅射分别在300、400、500和600℃下沉积了Ni3Al-Cr薄膜.采用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征了薄膜的晶体结构和表面形貌,通过方阻法检测了薄膜的抗腐蚀性能,采用纳米压痕表征了薄膜的硬度.结果表明,沉积温度对薄膜的微观结构、抗腐蚀及力学性能有重要影响.随着沉积温度的升高,薄膜晶粒及颗粒尺寸增大,300C时形成尺寸均匀的立方体小颗粒,400和500℃时颗粒长大且致密堆积,600℃时部分颗粒过度长大.在400℃沉积的薄膜兼具最优的抗腐蚀性和力学性能.证明了方阻法表征薄膜抗腐蚀性能的可靠性.
通過磁控濺射分彆在300、400、500和600℃下沉積瞭Ni3Al-Cr薄膜.採用X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)錶徵瞭薄膜的晶體結構和錶麵形貌,通過方阻法檢測瞭薄膜的抗腐蝕性能,採用納米壓痕錶徵瞭薄膜的硬度.結果錶明,沉積溫度對薄膜的微觀結構、抗腐蝕及力學性能有重要影響.隨著沉積溫度的升高,薄膜晶粒及顆粒呎吋增大,300C時形成呎吋均勻的立方體小顆粒,400和500℃時顆粒長大且緻密堆積,600℃時部分顆粒過度長大.在400℃沉積的薄膜兼具最優的抗腐蝕性和力學性能.證明瞭方阻法錶徵薄膜抗腐蝕性能的可靠性.
통과자공천사분별재300、400、500화600℃하침적료Ni3Al-Cr박막.채용X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)표정료박막적정체결구화표면형모,통과방조법검측료박막적항부식성능,채용납미압흔표정료박막적경도.결과표명,침적온도대박막적미관결구、항부식급역학성능유중요영향.수착침적온도적승고,박막정립급과립척촌증대,300C시형성척촌균균적립방체소과립,400화500℃시과립장대차치밀퇴적,600℃시부분과립과도장대.재400℃침적적박막겸구최우적항부식성화역학성능.증명료방조법표정박막항부식성능적가고성.
