广州化工
廣州化工
엄주화공
GUANGZHOU CHEMICAL INDUSTRY AND TECHNOLOGY
2013年
5期
43-46
,共4页
窦仕川%唐安江%韦德举%宗原%张妙鹤
竇仕川%唐安江%韋德舉%宗原%張妙鶴
두사천%당안강%위덕거%종원%장묘학
硅烷%纯化技术%检测%分析
硅烷%純化技術%檢測%分析
규완%순화기술%검측%분석
高纯硅烷主要用于电子和半导体行业中,是一系列含硅化合物的基本原料.概述了硅烷的纯化技术和分析方法.纯化技术有吸附法、冷冻法、精馏法；检测分析方法包括DID、PDHID气相色谱分析仪和气相色谱一质谱联用分析仪.
高純硅烷主要用于電子和半導體行業中,是一繫列含硅化閤物的基本原料.概述瞭硅烷的純化技術和分析方法.純化技術有吸附法、冷凍法、精餾法；檢測分析方法包括DID、PDHID氣相色譜分析儀和氣相色譜一質譜聯用分析儀.
고순규완주요용우전자화반도체행업중,시일계렬함규화합물적기본원료.개술료규완적순화기술화분석방법.순화기술유흡부법、냉동법、정류법；검측분석방법포괄DID、PDHID기상색보분석의화기상색보일질보련용분석의.
