计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2013年
1期
23-25
,共3页
段小艳%任冬梅%朱振宇%李华丰%兰一兵
段小豔%任鼕梅%硃振宇%李華豐%蘭一兵
단소염%임동매%주진우%리화봉%란일병
微位移测量%法布里-珀罗干涉仪%亚纳米分辨力%频率追踪
微位移測量%法佈裏-珀囉榦涉儀%亞納米分辨力%頻率追蹤
미위이측량%법포리-박라간섭의%아납미분변력%빈솔추종
介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力.建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较.
介紹瞭一種基于法佈裏-珀囉榦涉儀的微位移測量方法,通過將位移測量轉化為頻率變化量的測量,實現瞭亞納米級測量分辨力.建立瞭基于法佈裏-珀囉榦涉儀的微位移測量實驗裝置,完成瞭320 nm範圍內的位移測量,併將測量結果與精密電容傳感器的測量結果進行瞭比較.
개소료일충기우법포리-박라간섭의적미위이측량방법,통과장위이측량전화위빈솔변화량적측량,실현료아납미급측량분변력.건립료기우법포리-박라간섭의적미위이측량실험장치,완성료320 nm범위내적위이측량,병장측량결과여정밀전용전감기적측량결과진행료비교.
