中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2013年
2期
143-150
,共8页
宁珍珍%余传杰%李明%谢斌
寧珍珍%餘傳傑%李明%謝斌
저진진%여전걸%리명%사빈
多孔柱状晶%ZrO2薄膜%倾斜沉积%磁控溅射
多孔柱狀晶%ZrO2薄膜%傾斜沉積%磁控濺射
다공주상정%ZrO2박막%경사침적%자공천사
采用反应磁控溅射倾斜沉积(GLAD)的方法制备了多孔柱状晶的ZrO2薄膜,研究了不同沉积角和靶基距对薄膜结构和光学性质的影响.结果表明,倾斜沉积的ZrO2薄膜具有倾斜的柱状结构,柱状晶之间存在空隙(宽度小于100 nm),平均晶粒大小约为10 nm.沉积角大小的改变在一定程度上可以改变ZrO2薄膜中某些晶粒的取向.增大沉积角和增加靶基距均可使薄膜的折射率减小、孔隙率增大、沉积速率减小,不同的是增大沉积角会增大柱状倾斜角,而增加靶基距会减小柱状倾斜角.沉积角为75°时可制备出折射率为1.56、孔隙率为41.7％的ZrO2薄膜.
採用反應磁控濺射傾斜沉積(GLAD)的方法製備瞭多孔柱狀晶的ZrO2薄膜,研究瞭不同沉積角和靶基距對薄膜結構和光學性質的影響.結果錶明,傾斜沉積的ZrO2薄膜具有傾斜的柱狀結構,柱狀晶之間存在空隙(寬度小于100 nm),平均晶粒大小約為10 nm.沉積角大小的改變在一定程度上可以改變ZrO2薄膜中某些晶粒的取嚮.增大沉積角和增加靶基距均可使薄膜的摺射率減小、孔隙率增大、沉積速率減小,不同的是增大沉積角會增大柱狀傾斜角,而增加靶基距會減小柱狀傾斜角.沉積角為75°時可製備齣摺射率為1.56、孔隙率為41.7％的ZrO2薄膜.
채용반응자공천사경사침적(GLAD)적방법제비료다공주상정적ZrO2박막,연구료불동침적각화파기거대박막결구화광학성질적영향.결과표명,경사침적적ZrO2박막구유경사적주상결구,주상정지간존재공극(관도소우100 nm),평균정립대소약위10 nm.침적각대소적개변재일정정도상가이개변ZrO2박막중모사정립적취향.증대침적각화증가파기거균가사박막적절사솔감소、공극솔증대、침적속솔감소,불동적시증대침적각회증대주상경사각,이증가파기거회감소주상경사각.침적각위75°시가제비출절사솔위1.56、공극솔위41.7％적ZrO2박막.
