机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2013年
2期
171-174,213
,共5页
林明星%吕冰海%袁巨龙%邓乾发%孟玲峰
林明星%呂冰海%袁巨龍%鄧乾髮%孟玲峰
림명성%려빙해%원거룡%산건발%맹령봉
氮化硅%陶瓷球%高精度%表面粗糙度%球度%研磨工艺
氮化硅%陶瓷毬%高精度%錶麵粗糙度%毬度%研磨工藝
담화규%도자구%고정도%표면조조도%구도%연마공예
为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题,将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中.开展了研磨过程的分析,建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系,并提出了对比分析的方法,在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了评价.研究结果表明,氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到0.062μm以下,表面粗糙度达到1.48 nm以下,振动值达到24 dB以下,实现了批量生产G3级氮化硅陶瓷球的目的.
為解決高精度氮化硅陶瓷毬批量研磨加工的問題,將超精密研磨技術應用到氮化硅陶瓷毬的加工實驗中.開展瞭研磨過程的分析,建立瞭不同研磨階段陶瓷毬毬度、錶麵質量及材料去除率與所選不同大小粒度磨料之間的關繫,併提齣瞭對比分析的方法,在通過專業設備檢測的基礎上對成品毬毬度、錶麵粗糙度和振動值進行瞭評價.研究結果錶明,氮化硅陶瓷毬能夠批量生產且毬度達到0.062μm以下,錶麵粗糙度達到1.48 nm以下,振動值達到24 dB以下,實現瞭批量生產G3級氮化硅陶瓷毬的目的.
위해결고정도담화규도자구비량연마가공적문제,장초정밀연마기술응용도담화규도자구적가공실험중.개전료연마과정적분석,건립료불동연마계단도자구구도、표면질량급재료거제솔여소선불동대소립도마료지간적관계,병제출료대비분석적방법,재통과전업설비검측적기출상대성품구구도、표면조조도화진동치진행료평개.연구결과표명,담화규도자구능구비량생산차구도체도0.062μm이하,표면조조도체도1.48 nm이하,진동치체도24 dB이하,실현료비량생산G3급담화규도자구적목적.
