南京航空航天大学学报
南京航空航天大學學報
남경항공항천대학학보
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF AERONAUTICS & ASTRONAUTICS
2013年
1期
147-151
,共5页
王威%沈鸿烈%吕红杰%岳之浩
王威%瀋鴻烈%呂紅傑%嶽之浩
왕위%침홍렬%려홍걸%악지호
多孔-金字塔%多层多孔-金字塔%复合微结构%反射率
多孔-金字塔%多層多孔-金字塔%複閤微結構%反射率
다공-금자탑%다층다공-금자탑%복합미결구%반사솔
主要研究了多孔-金字塔和多层多孔-金字塔两种多孔复合微结构的减反射性能.多孔-金字塔是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/Fe(NO3)3溶液中二次化学腐蚀得到的,而多层多孔-金字塔复合微结构是将带有金字塔结构的单晶硅片置于HF/CH3CH2OH溶液中二次电化学腐蚀得到的.用扫面电镜和UV-vis-NIR分光光度计分别分析了这两种复合结构的表面形貌和反射率.结果表明,在400～800 nm波长范围内,多孔-金字塔和多层多孔-金字塔复合微结构的平均反射率分别为5％和2.1％.多孔-金字塔微结构表面的孔洞较大,表面的金字塔有少量的塌陷,但多层多孔-金字塔微结构表面的孔洞细小且覆盖均匀,表面的金字塔基本上保持完好.通过比较,电化学方法制备的多层多孔-金字塔复合微结构的减反射效果要优于采用化学腐蚀制备的多孔-金字塔复合微结构的减反射效果.
主要研究瞭多孔-金字塔和多層多孔-金字塔兩種多孔複閤微結構的減反射性能.多孔-金字塔是將帶有金字塔結構的單晶硅片置于HF/Fe(NO3)3溶液中二次化學腐蝕得到的,而多層多孔-金字塔複閤微結構是將帶有金字塔結構的單晶硅片置于HF/CH3CH2OH溶液中二次電化學腐蝕得到的.用掃麵電鏡和UV-vis-NIR分光光度計分彆分析瞭這兩種複閤結構的錶麵形貌和反射率.結果錶明,在400～800 nm波長範圍內,多孔-金字塔和多層多孔-金字塔複閤微結構的平均反射率分彆為5％和2.1％.多孔-金字塔微結構錶麵的孔洞較大,錶麵的金字塔有少量的塌陷,但多層多孔-金字塔微結構錶麵的孔洞細小且覆蓋均勻,錶麵的金字塔基本上保持完好.通過比較,電化學方法製備的多層多孔-金字塔複閤微結構的減反射效果要優于採用化學腐蝕製備的多孔-金字塔複閤微結構的減反射效果.
주요연구료다공-금자탑화다층다공-금자탑량충다공복합미결구적감반사성능.다공-금자탑시장대유금자탑결구적단정규편치우HF/Fe(NO3)3용액중이차화학부식득도적,이다층다공-금자탑복합미결구시장대유금자탑결구적단정규편치우HF/CH3CH2OH용액중이차전화학부식득도적.용소면전경화UV-vis-NIR분광광도계분별분석료저량충복합결구적표면형모화반사솔.결과표명,재400～800 nm파장범위내,다공-금자탑화다층다공-금자탑복합미결구적평균반사솔분별위5％화2.1％.다공-금자탑미결구표면적공동교대,표면적금자탑유소량적탑함,단다층다공-금자탑미결구표면적공동세소차복개균균,표면적금자탑기본상보지완호.통과비교,전화학방법제비적다층다공-금자탑복합미결구적감반사효과요우우채용화학부식제비적다공-금자탑복합미결구적감반사효과.
