信息技术与标准化
信息技術與標準化
신식기술여표준화
INFORMATION TECHNOLOGY & STANDARDIZATION
2013年
1期
29-32,36
,共5页
化学品%集成电路%标准体系
化學品%集成電路%標準體繫
화학품%집성전로%표준체계
通过介绍化学品在集成电路工艺中的应用和我国集成电路工艺化学品产业现状,重点阐述了集成电路工艺化学品标准化进展,并提出了集成电路工艺化学品标准体系框架.
通過介紹化學品在集成電路工藝中的應用和我國集成電路工藝化學品產業現狀,重點闡述瞭集成電路工藝化學品標準化進展,併提齣瞭集成電路工藝化學品標準體繫框架.
통과개소화학품재집성전로공예중적응용화아국집성전로공예화학품산업현상,중점천술료집성전로공예화학품표준화진전,병제출료집성전로공예화학품표준체계광가.
