厦门大学学报(自然科学版)
廈門大學學報(自然科學版)
하문대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2013年
2期
177-181
,共5页
测量%非旋转对称%三次方面%计算全息图
測量%非鏇轉對稱%三次方麵%計算全息圖
측량%비선전대칭%삼차방면%계산전식도
非旋转对称的光学曲面越来越多地应用到现代光学系统中,但对该类光学面形的检测还基本依靠坐标测量机和接触式轮廓仪.利用计算全息图(computer-generated holograms,CGH)可以生成任意想要的波前这一特点,提出了利用计算全息来检测非旋转对称的光学曲面的非接触式测量方法,并通过对一个三次方面进行面形检测,详细给出了从检测系统的理论设计、CGH的制作到面形检测整个过程.检测结果的面形偏差PV值为1.047 λ(λ=0.632 8×10-3 mm,氦氖激光波长),均方根(RMS)值是0.094 λ.该方法可以作为现行接触式测量方法的有效补充,并且具有良好的前景.
非鏇轉對稱的光學麯麵越來越多地應用到現代光學繫統中,但對該類光學麵形的檢測還基本依靠坐標測量機和接觸式輪廓儀.利用計算全息圖(computer-generated holograms,CGH)可以生成任意想要的波前這一特點,提齣瞭利用計算全息來檢測非鏇轉對稱的光學麯麵的非接觸式測量方法,併通過對一箇三次方麵進行麵形檢測,詳細給齣瞭從檢測繫統的理論設計、CGH的製作到麵形檢測整箇過程.檢測結果的麵形偏差PV值為1.047 λ(λ=0.632 8×10-3 mm,氦氖激光波長),均方根(RMS)值是0.094 λ.該方法可以作為現行接觸式測量方法的有效補充,併且具有良好的前景.
비선전대칭적광학곡면월래월다지응용도현대광학계통중,단대해류광학면형적검측환기본의고좌표측량궤화접촉식륜곽의.이용계산전식도(computer-generated holograms,CGH)가이생성임의상요적파전저일특점,제출료이용계산전식래검측비선전대칭적광학곡면적비접촉식측량방법,병통과대일개삼차방면진행면형검측,상세급출료종검측계통적이론설계、CGH적제작도면형검측정개과정.검측결과적면형편차PV치위1.047 λ(λ=0.632 8×10-3 mm,양내격광파장),균방근(RMS)치시0.094 λ.해방법가이작위현행접촉식측량방법적유효보충,병차구유량호적전경.