厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2013年
2期
160-164
,共5页
陈雪%王纯子%黄凯%康俊勇
陳雪%王純子%黃凱%康俊勇
진설%왕순자%황개%강준용
薄膜%传感器%La掺杂%Dy掺杂%乙醇
薄膜%傳感器%La摻雜%Dy摻雜%乙醇
박막%전감기%La참잡%Dy참잡%을순
采用真空蒸发的方法制备了掺杂原子比为3％、5％和9％的La掺杂和Dy掺杂的ZnO薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)谱和X射线光电子能谱(XPS)表征了所制得的ZnO薄膜的特性.发现所有薄膜都沿C轴取向优先生长.在对ZnO薄膜气敏特性的测量中,在低温条件下掺杂ZnO薄膜的电阻比非掺杂ZnO薄膜的小,且对乙醇和丙酮的灵敏度显著增强,且其中Dy掺杂的ZnO薄膜的气敏特性较La掺杂的ZnO薄膜为高.而空气中暴露9个月后的薄膜的气敏特性表明掺杂ZnO薄膜具有很好的稳定性.同时讨论了气敏传感机制和掺杂行为对薄膜灵敏度的影响.
採用真空蒸髮的方法製備瞭摻雜原子比為3％、5％和9％的La摻雜和Dy摻雜的ZnO薄膜.用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)譜和X射線光電子能譜(XPS)錶徵瞭所製得的ZnO薄膜的特性.髮現所有薄膜都沿C軸取嚮優先生長.在對ZnO薄膜氣敏特性的測量中,在低溫條件下摻雜ZnO薄膜的電阻比非摻雜ZnO薄膜的小,且對乙醇和丙酮的靈敏度顯著增彊,且其中Dy摻雜的ZnO薄膜的氣敏特性較La摻雜的ZnO薄膜為高.而空氣中暴露9箇月後的薄膜的氣敏特性錶明摻雜ZnO薄膜具有很好的穩定性.同時討論瞭氣敏傳感機製和摻雜行為對薄膜靈敏度的影響.
채용진공증발적방법제비료참잡원자비위3％、5％화9％적La참잡화Dy참잡적ZnO박막.용소묘전자현미경(SEM)、X사선연사(XRD)보화X사선광전자능보(XPS)표정료소제득적ZnO박막적특성.발현소유박막도연C축취향우선생장.재대ZnO박막기민특성적측량중,재저온조건하참잡ZnO박막적전조비비참잡ZnO박막적소,차대을순화병동적령민도현저증강,차기중Dy참잡적ZnO박막적기민특성교La참잡적ZnO박막위고.이공기중폭로9개월후적박막적기민특성표명참잡ZnO박막구유흔호적은정성.동시토론료기민전감궤제화참잡행위대박막령민도적영향.
