材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
12期
27-30
,共4页
廖荣%张海燕%谢佳亮%杨铁铮%罗文中%胡伟
廖榮%張海燕%謝佳亮%楊鐵錚%囉文中%鬍偉
료영%장해연%사가량%양철쟁%라문중%호위
原子层沉积%氧化锌薄膜%铜铟镓硒太阳能电池%缓冲层
原子層沉積%氧化鋅薄膜%銅銦鎵硒太暘能電池%緩遲層
원자층침적%양화자박막%동인가서태양능전지%완충층
atomic layer deposition%zinc oxide thin film%copper indium gallium selenium solar battery%buffer layer
用原子层沉积法在钠钙玻璃上沉积氧化锌薄膜,利用场发射扫描电镜和X射线衍射(XRD)等对样品表面形貌和物相进行分析,结果表明得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,颗粒的尺寸在30～60 nm之间；测得的ZnO薄膜厚度仅50 nm,符合缓冲层要求；薄膜在可见光区域透射率达90％以上；使用原子层沉积氧化锌薄膜作铜铟镓硒太阳能电池的缓冲层,TEM显示氧化锌层完好、致密地覆盖在CIGS层上,电池的光电转换效率较高,完全可以替代有毒的CdS作缓冲层.
用原子層沉積法在鈉鈣玻璃上沉積氧化鋅薄膜,利用場髮射掃描電鏡和X射線衍射(XRD)等對樣品錶麵形貌和物相進行分析,結果錶明得到的ZnO納米顆粒為六角纖鋅礦結構,顆粒的呎吋在30～60 nm之間；測得的ZnO薄膜厚度僅50 nm,符閤緩遲層要求；薄膜在可見光區域透射率達90％以上；使用原子層沉積氧化鋅薄膜作銅銦鎵硒太暘能電池的緩遲層,TEM顯示氧化鋅層完好、緻密地覆蓋在CIGS層上,電池的光電轉換效率較高,完全可以替代有毒的CdS作緩遲層.
용원자층침적법재납개파리상침적양화자박막,이용장발사소묘전경화X사선연사(XRD)등대양품표면형모화물상진행분석,결과표명득도적ZnO납미과립위륙각섬자광결구,과립적척촌재30～60 nm지간；측득적ZnO박막후도부50 nm,부합완충층요구；박막재가견광구역투사솔체90％이상；사용원자층침적양화자박막작동인가서태양능전지적완충층,TEM현시양화자층완호、치밀지복개재CIGS층상,전지적광전전환효솔교고,완전가이체대유독적CdS작완충층.
