材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
12期
15-19
,共5页
白晓明%张成顺%佘辉%刘有军%濮春英
白曉明%張成順%佘輝%劉有軍%濮春英
백효명%장성순%사휘%류유군%복춘영
CrN/Si3N4 微观结构%界面结构%力学性能
CrN/Si3N4 微觀結構%界麵結構%力學性能
CrN/Si3N4 미관결구%계면결구%역학성능
CrN/Si3N4%microstructure%interface%mechanical property
利用磁控溅射法在不同基底偏压条件下制备了CrN/Si3N4纳米多层膜,分别用X射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪表征多层膜的微观结构及力学性能,结果表明,衬底偏压对CrN/Si3N4纳米多层膜微观结构、界面结构、硬度和磨损性能有重要影响.漂浮电位时多层膜界面粗糙,CrN呈(200)、(111)共同生长,硬度和弹性模量低,有偏压且变化时界面宽度和粗糙度变化不大,硬度和模量变化的主要原因是不同衬底偏压下的晶格畸变导致两层材料弹性模量变化和晶粒尺寸变化.基底偏压的优化有助于改善涂层的屈服应力和断裂韧性.
利用磁控濺射法在不同基底偏壓條件下製備瞭CrN/Si3N4納米多層膜,分彆用X射線衍射儀、原子力顯微鏡及納米壓痕儀錶徵多層膜的微觀結構及力學性能,結果錶明,襯底偏壓對CrN/Si3N4納米多層膜微觀結構、界麵結構、硬度和磨損性能有重要影響.漂浮電位時多層膜界麵粗糙,CrN呈(200)、(111)共同生長,硬度和彈性模量低,有偏壓且變化時界麵寬度和粗糙度變化不大,硬度和模量變化的主要原因是不同襯底偏壓下的晶格畸變導緻兩層材料彈性模量變化和晶粒呎吋變化.基底偏壓的優化有助于改善塗層的屈服應力和斷裂韌性.
이용자공천사법재불동기저편압조건하제비료CrN/Si3N4납미다층막,분별용X사선연사의、원자력현미경급납미압흔의표정다층막적미관결구급역학성능,결과표명,츤저편압대CrN/Si3N4납미다층막미관결구、계면결구、경도화마손성능유중요영향.표부전위시다층막계면조조,CrN정(200)、(111)공동생장,경도화탄성모량저,유편압차변화시계면관도화조조도변화불대,경도화모량변화적주요원인시불동츤저편압하적정격기변도치량층재료탄성모량변화화정립척촌변화.기저편압적우화유조우개선도층적굴복응력화단렬인성.
