吉林大学学报（理学版）
吉林大學學報（理學版）
길림대학학보（이학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2013年
2期
301-304
,共4页
刘楠%赵长春%孙瑶%王新%李野%端木庆铎
劉楠%趙長春%孫瑤%王新%李野%耑木慶鐸
류남%조장춘%손요%왕신%리야%단목경탁
Monte Carlo模型%Cu薄膜%计算机模拟
Monte Carlo模型%Cu薄膜%計算機模擬
Monte Carlo모형%Cu박막%계산궤모의
基于Monte Carlo模型,在理想基底上设置100×100的二维方形格,利用周期性边界条件建立Cu薄膜初期生长模型,并模拟粒子的气相沉积过程及迁移步数对薄膜生长的影响规律.结果表明:当沉积粒子数逐渐增加时,基底表面的粒子团簇结构逐渐增大；在温度不变的条件下,随着最大迁移步数的增加,团簇逐渐增大,团簇数量逐渐减小,且团簇分布逐渐稀疏；温度升高使粒子聚集为岛状,薄膜呈岛状生长.
基于Monte Carlo模型,在理想基底上設置100×100的二維方形格,利用週期性邊界條件建立Cu薄膜初期生長模型,併模擬粒子的氣相沉積過程及遷移步數對薄膜生長的影響規律.結果錶明:噹沉積粒子數逐漸增加時,基底錶麵的粒子糰簇結構逐漸增大；在溫度不變的條件下,隨著最大遷移步數的增加,糰簇逐漸增大,糰簇數量逐漸減小,且糰簇分佈逐漸稀疏；溫度升高使粒子聚集為島狀,薄膜呈島狀生長.
기우Monte Carlo모형,재이상기저상설치100×100적이유방형격,이용주기성변계조건건립Cu박막초기생장모형,병모의입자적기상침적과정급천이보수대박막생장적영향규률.결과표명:당침적입자수축점증가시,기저표면적입자단족결구축점증대；재온도불변적조건하,수착최대천이보수적증가,단족축점증대,단족수량축점감소,차단족분포축점희소；온도승고사입자취집위도상,박막정도상생장.
