强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
4期
929-934
,共6页
激光预处理%缺陷%能量覆盖%高反射膜
激光預處理%缺陷%能量覆蓋%高反射膜
격광예처리%결함%능량복개%고반사막
采用不同的光斑移动距离,对电子束蒸发制备的HfO2/SiO2多层高反膜进行了单步及多步预处理.结果表明:为了使薄膜不产生损伤,预处理最高能量密度最好不超过薄膜零几率损伤阈值的90％；相同预处理效率下进行的单步预处理对提高光学薄膜抗激光损伤阈值的效果比多步预处理好；对HfO2/SiO2高反膜进行98.4％能量覆盖的两步预处理后薄膜损伤阈值提高81％；控制薄膜的缺陷源,初始物质应采用金属Hf.
採用不同的光斑移動距離,對電子束蒸髮製備的HfO2/SiO2多層高反膜進行瞭單步及多步預處理.結果錶明:為瞭使薄膜不產生損傷,預處理最高能量密度最好不超過薄膜零幾率損傷閾值的90％；相同預處理效率下進行的單步預處理對提高光學薄膜抗激光損傷閾值的效果比多步預處理好；對HfO2/SiO2高反膜進行98.4％能量覆蓋的兩步預處理後薄膜損傷閾值提高81％；控製薄膜的缺陷源,初始物質應採用金屬Hf.
채용불동적광반이동거리,대전자속증발제비적HfO2/SiO2다층고반막진행료단보급다보예처리.결과표명:위료사박막불산생손상,예처리최고능량밀도최호불초과박막령궤솔손상역치적90％；상동예처리효솔하진행적단보예처리대제고광학박막항격광손상역치적효과비다보예처리호；대HfO2/SiO2고반막진행98.4％능량복개적량보예처리후박막손상역치제고81％；공제박막적결함원,초시물질응채용금속Hf.
