强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
4期
918-922
,共5页
刘梅芳%史瑞廷%陈素芬%刘一杨%苏琳%李波%张占文
劉梅芳%史瑞廷%陳素芬%劉一楊%囌琳%李波%張佔文
류매방%사서정%진소분%류일양%소림%리파%장점문
芯轴%小批量测量%直径%球形度%不确定度
芯軸%小批量測量%直徑%毬形度%不確定度
심축%소비량측량%직경%구형도%불학정도
基于VMR显微镜系统,提出了一种小批量测量聚a-甲基苯乙烯(PAMS)芯轴直径和球形度的方法,初选满足技术指标的微球.小批量测量1 mm标准球,测量结果95％出现在(998.2±1.2)μm之间.测量值与标准值之间的偏差为标准值的0.06％,扩展不确定度偏差为测量值的0.24％,说明该批量测量结果准确度和稳定性较好.将此方法应用于PAMS芯轴初选,与手动测量结果相比,批量测量结果的偏差具有单向性,且最大偏差约10μtm,满足初选测量要求.
基于VMR顯微鏡繫統,提齣瞭一種小批量測量聚a-甲基苯乙烯(PAMS)芯軸直徑和毬形度的方法,初選滿足技術指標的微毬.小批量測量1 mm標準毬,測量結果95％齣現在(998.2±1.2)μm之間.測量值與標準值之間的偏差為標準值的0.06％,擴展不確定度偏差為測量值的0.24％,說明該批量測量結果準確度和穩定性較好.將此方法應用于PAMS芯軸初選,與手動測量結果相比,批量測量結果的偏差具有單嚮性,且最大偏差約10μtm,滿足初選測量要求.
기우VMR현미경계통,제출료일충소비량측량취a-갑기분을희(PAMS)심축직경화구형도적방법,초선만족기술지표적미구.소비량측량1 mm표준구,측량결과95％출현재(998.2±1.2)μm지간.측량치여표준치지간적편차위표준치적0.06％,확전불학정도편차위측량치적0.24％,설명해비량측량결과준학도화은정성교호.장차방법응용우PAMS심축초선,여수동측량결과상비,비량측량결과적편차구유단향성,차최대편차약10μtm,만족초선측량요구.
