应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
6期
933-937
,共5页
光学加工%PVD改性(物理气相沉积法改性)%RB-SiC(反应烧结碳化硅)%表面缺陷
光學加工%PVD改性(物理氣相沉積法改性)%RB-SiC(反應燒結碳化硅)%錶麵缺陷
광학가공%PVD개성(물리기상침적법개성)%RB-SiC(반응소결탄화규)%표면결함
optical manufacture%PVD modified%RB-SiC%surface defects
为获得高表面质量的PVD改性RB-SiC反射镜,解决实际加工中出现的表面缺陷问题,对缺陷的形成机理及处理方法进行了研究.根据Preston假设设计相关试验,推测表面缺陷是由于PVD改性层中的大颗粒结晶受到较大冲击,从而使大颗粒结晶剥落而非对其产生磨削作用而产生的.试验表明:过高的抛光速度或过高的抛光压力会造成改性层表面缺陷的产生,调整抛光的相对速度及抛光压力等关键工艺参数,可在保持抛光效率的同时有效减少和避免表面缺陷问题的产生.经试验验证,当表面缺陷产生后,通过选择适当的相对速度和抛光压强,改性层去除0.7 μm～1μm后,可有效修复缺陷,并且无新的表面缺陷产生.
為穫得高錶麵質量的PVD改性RB-SiC反射鏡,解決實際加工中齣現的錶麵缺陷問題,對缺陷的形成機理及處理方法進行瞭研究.根據Preston假設設計相關試驗,推測錶麵缺陷是由于PVD改性層中的大顆粒結晶受到較大遲擊,從而使大顆粒結晶剝落而非對其產生磨削作用而產生的.試驗錶明:過高的拋光速度或過高的拋光壓力會造成改性層錶麵缺陷的產生,調整拋光的相對速度及拋光壓力等關鍵工藝參數,可在保持拋光效率的同時有效減少和避免錶麵缺陷問題的產生.經試驗驗證,噹錶麵缺陷產生後,通過選擇適噹的相對速度和拋光壓彊,改性層去除0.7 μm～1μm後,可有效脩複缺陷,併且無新的錶麵缺陷產生.
위획득고표면질량적PVD개성RB-SiC반사경,해결실제가공중출현적표면결함문제,대결함적형성궤리급처리방법진행료연구.근거Preston가설설계상관시험,추측표면결함시유우PVD개성층중적대과립결정수도교대충격,종이사대과립결정박락이비대기산생마삭작용이산생적.시험표명:과고적포광속도혹과고적포광압력회조성개성층표면결함적산생,조정포광적상대속도급포광압력등관건공예삼수,가재보지포광효솔적동시유효감소화피면표면결함문제적산생.경시험험증,당표면결함산생후,통과선택괄당적상대속도화포광압강,개성층거제0.7 μm～1μm후,가유효수복결함,병차무신적표면결함산생.
