制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2013年
11期
109-112
,共4页
化学机械抛光%正交试验%极差分析
化學機械拋光%正交試驗%極差分析
화학궤계포광%정교시험%겁차분석
Chemical Mechanical Polishing(CMP)%Orthogonal Experiment%Range analysis
通过对一种不锈钢CMP抛光中,抛光液成分:有机碱,氧化剂,活性剂和螯合剂等添加剂对抛光后工件表面质量影响的正交试验研究,配置并优化了抛光液的成分.同时通过试验研究,探索了影响工件表面质量的因素,并提出了相应的改进措施,对后续的研究具有一定的借鉴作用.
通過對一種不鏽鋼CMP拋光中,拋光液成分:有機堿,氧化劑,活性劑和螯閤劑等添加劑對拋光後工件錶麵質量影響的正交試驗研究,配置併優化瞭拋光液的成分.同時通過試驗研究,探索瞭影響工件錶麵質量的因素,併提齣瞭相應的改進措施,對後續的研究具有一定的藉鑒作用.
통과대일충불수강CMP포광중,포광액성분:유궤감,양화제,활성제화오합제등첨가제대포광후공건표면질량영향적정교시험연구,배치병우화료포광액적성분.동시통과시험연구,탐색료영향공건표면질량적인소,병제출료상응적개진조시,대후속적연구구유일정적차감작용.
