电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2013年
1期
81-89
,共9页
原子力显微镜%高速原子力显微成像%动态过程观测
原子力顯微鏡%高速原子力顯微成像%動態過程觀測
원자력현미경%고속원자력현미성상%동태과정관측
自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具.由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年来已引起国内外的高度关注.本文综述了高速原子力显微术关键技术(包括:微小探针、高速扫描器设计和控制方法)以及应用等方面的最近进展.
自1986年髮明原子力顯微鏡以來,它已成為材料、生物以及納米科技等許多領域的重要工具.由于常規原子力顯微鏡成像速度緩慢,在動態過程觀測、工業生產線原位測量以及高密度信息存儲等領域的應用受到限製,因此髮展高速原子力顯微術近年來已引起國內外的高度關註.本文綜述瞭高速原子力顯微術關鍵技術(包括:微小探針、高速掃描器設計和控製方法)以及應用等方麵的最近進展.
자1986년발명원자력현미경이래,타이성위재료、생물이급납미과기등허다영역적중요공구.유우상규원자력현미경성상속도완만,재동태과정관측、공업생산선원위측량이급고밀도신식존저등영역적응용수도한제,인차발전고속원자력현미술근년래이인기국내외적고도관주.본문종술료고속원자력현미술관건기술(포괄:미소탐침、고속소묘기설계화공제방법)이급응용등방면적최근진전.
