稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
3期
585-588
,共4页
许晓静%刘敏%张体峰%凌智勇%盛新兰%陈丹
許曉靜%劉敏%張體峰%凌智勇%盛新蘭%陳丹
허효정%류민%장체봉%릉지용%성신란%진단
TiNi基材%薄膜%微结构%纳米压痕%摩擦性能%磁控溅射
TiNi基材%薄膜%微結構%納米壓痕%摩抆性能%磁控濺射
TiNi기재%박막%미결구%납미압흔%마찰성능%자공천사
采用室温磁控溅射技术在超细晶TiNi合金表面制备出CNx/SiC(氮化碳/碳化硅)双层薄膜,SiC为中间层.研究了CNx薄膜的组织结构、纳米压痕和摩擦性能.结果表明:CNx薄膜存在微孔缺陷(基体中夹杂物脱落等原因引起)、石墨含量高、纳米硬度(5.23 GPa)低、弹性模量(33.29 GPa)低,但具有高的硬度与弹性模量比值(0.157).在200 g载荷、氮化硅球(半径为2 mm)为对摩件、大气干摩擦条件下,CNx薄膜的摩擦系数约为0.173,磨损后薄膜未出现裂纹和剥落；在500 g载荷、室温Kokubo人体模拟体液下,CNx薄膜的摩擦系数约为0.103,但磨损后薄膜出现剥落.剥落的发生可能是由于SBF溶液通过微孔缺陷进入并腐蚀薄膜-薄膜-基材界面所致.
採用室溫磁控濺射技術在超細晶TiNi閤金錶麵製備齣CNx/SiC(氮化碳/碳化硅)雙層薄膜,SiC為中間層.研究瞭CNx薄膜的組織結構、納米壓痕和摩抆性能.結果錶明:CNx薄膜存在微孔缺陷(基體中夾雜物脫落等原因引起)、石墨含量高、納米硬度(5.23 GPa)低、彈性模量(33.29 GPa)低,但具有高的硬度與彈性模量比值(0.157).在200 g載荷、氮化硅毬(半徑為2 mm)為對摩件、大氣榦摩抆條件下,CNx薄膜的摩抆繫數約為0.173,磨損後薄膜未齣現裂紋和剝落；在500 g載荷、室溫Kokubo人體模擬體液下,CNx薄膜的摩抆繫數約為0.103,但磨損後薄膜齣現剝落.剝落的髮生可能是由于SBF溶液通過微孔缺陷進入併腐蝕薄膜-薄膜-基材界麵所緻.
채용실온자공천사기술재초세정TiNi합금표면제비출CNx/SiC(담화탄/탄화규)쌍층박막,SiC위중간층.연구료CNx박막적조직결구、납미압흔화마찰성능.결과표명:CNx박막존재미공결함(기체중협잡물탈락등원인인기)、석묵함량고、납미경도(5.23 GPa)저、탄성모량(33.29 GPa)저,단구유고적경도여탄성모량비치(0.157).재200 g재하、담화규구(반경위2 mm)위대마건、대기간마찰조건하,CNx박막적마찰계수약위0.173,마손후박막미출현렬문화박락；재500 g재하、실온Kokubo인체모의체액하,CNx박막적마찰계수약위0.103,단마손후박막출현박락.박락적발생가능시유우SBF용액통과미공결함진입병부식박막-박막-기재계면소치.
