现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2013年
3期
87-90,114
,共5页
徐晓明%周海%卓志国%臧跃
徐曉明%週海%卓誌國%臧躍
서효명%주해%탁지국%장약
蓝宝石%衬底%检测指标%检测方法%检测设备
藍寶石%襯底%檢測指標%檢測方法%檢測設備
람보석%츤저%검측지표%검측방법%검측설비
根据蓝宝石衬底基片国家标准和国际质量保证体系标准,结合目前蓝宝石衬底基片生产和科研的实际情况,阐述了目前蓝宝石衬底基片生长、掏棒切片、研磨抛光和清洗加工过程中的质量检测指标、检测方法,以及检测设备.指出了蓝宝石衬底基片检测技术的研究对衬底基片生产的重要性.总结了蓝宝石衬底基片检测技术的现状,半导体材料GaN衬底用蓝宝石单晶的纯度要达到99.999％以上,位错密度在102/cm2范围内,晶片切片厚度偏差不超过20μm,表面粗糙度要达到Ra0.3nm水平.指出了现有检测技术的不足和今后的发展趋势,对蓝宝石衬底检测技术的进一步发展具有引导性的作用.
根據藍寶石襯底基片國傢標準和國際質量保證體繫標準,結閤目前藍寶石襯底基片生產和科研的實際情況,闡述瞭目前藍寶石襯底基片生長、掏棒切片、研磨拋光和清洗加工過程中的質量檢測指標、檢測方法,以及檢測設備.指齣瞭藍寶石襯底基片檢測技術的研究對襯底基片生產的重要性.總結瞭藍寶石襯底基片檢測技術的現狀,半導體材料GaN襯底用藍寶石單晶的純度要達到99.999％以上,位錯密度在102/cm2範圍內,晶片切片厚度偏差不超過20μm,錶麵粗糙度要達到Ra0.3nm水平.指齣瞭現有檢測技術的不足和今後的髮展趨勢,對藍寶石襯底檢測技術的進一步髮展具有引導性的作用.
근거람보석츤저기편국가표준화국제질량보증체계표준,결합목전람보석츤저기편생산화과연적실제정황,천술료목전람보석츤저기편생장、도봉절편、연마포광화청세가공과정중적질량검측지표、검측방법,이급검측설비.지출료람보석츤저기편검측기술적연구대츤저기편생산적중요성.총결료람보석츤저기편검측기술적현상,반도체재료GaN츤저용람보석단정적순도요체도99.999％이상,위착밀도재102/cm2범위내,정편절편후도편차불초과20μm,표면조조도요체도Ra0.3nm수평.지출료현유검측기술적불족화금후적발전추세,대람보석츤저검측기술적진일보발전구유인도성적작용.
