中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
6期
822-825
,共4页
周万根%许忠保%钟毓宁%苏昊
週萬根%許忠保%鐘毓寧%囌昊
주만근%허충보%종육저%소호
激光直写%数字光栅%空间光调制器%光变图像
激光直寫%數字光柵%空間光調製器%光變圖像
격광직사%수자광책%공간광조제기%광변도상
研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台.该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构；以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形.该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字.
研究瞭以數字光柵模闆形成光變圖像的方法,搭建瞭以Lcos空間光調製器為圖像髮生器的光刻實驗平檯.該方法與傳統光刻技術相比有兩大改進:採用數字光柵模闆替代分束元件及機械鏇轉結構；以Lcos為圖像髮生器,採用麵陣式的曝光得到高質量的具有位相信息的任意光斑圖形.該方法的分辨率可達1000線/mm,能夠製作齣高質量的光變圖像,如2D/3D圖像以及各種精密的微刻圖像和文字.
연구료이수자광책모판형성광변도상적방법,탑건료이Lcos공간광조제기위도상발생기적광각실험평태.해방법여전통광각기술상비유량대개진:채용수자광책모판체대분속원건급궤계선전결구；이Lcos위도상발생기,채용면진식적폭광득도고질량적구유위상신식적임의광반도형.해방법적분변솔가체1000선/mm,능구제작출고질량적광변도상,여2D/3D도상이급각충정밀적미각도상화문자.
