中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
6期
769-774
,共6页
晶圆制造%Intrabay物料运输系统%调度%多目标%实时
晶圓製造%Intrabay物料運輸繫統%調度%多目標%實時
정원제조%Intrabay물료운수계통%조도%다목표%실시
为了提高晶圆制造Intrabay物料运输系统(简称Intrabay系统)的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑-匈牙利方法的Intrabay系统多目标实时调度方法.该方法实时响应运输小车空载和晶圆卡请求运输等动态事件,并对各事件时刻的Intrabay系统调度子问题进行多目标优化求解.采用300mm的晶圆制造系统数据进行仿真实验并与传统的Intrabay系统调度方法进行比较,结果表明该方法在Intrabay系统和晶圆加工系统的多个指标综合性能方面优于传统Intrabay系统调度方法,验证了Intrabay系统多目标实时调度方法的有效性.
為瞭提高晶圓製造Intrabay物料運輸繫統(簡稱Intrabay繫統)的多目標調度性能,提齣瞭一種基于模糊邏輯-匈牙利方法的Intrabay繫統多目標實時調度方法.該方法實時響應運輸小車空載和晶圓卡請求運輸等動態事件,併對各事件時刻的Intrabay繫統調度子問題進行多目標優化求解.採用300mm的晶圓製造繫統數據進行倣真實驗併與傳統的Intrabay繫統調度方法進行比較,結果錶明該方法在Intrabay繫統和晶圓加工繫統的多箇指標綜閤性能方麵優于傳統Intrabay繫統調度方法,驗證瞭Intrabay繫統多目標實時調度方法的有效性.
위료제고정원제조Intrabay물료운수계통(간칭Intrabay계통)적다목표조도성능,제출료일충기우모호라집-흉아리방법적Intrabay계통다목표실시조도방법.해방법실시향응운수소차공재화정원잡청구운수등동태사건,병대각사건시각적Intrabay계통조도자문제진행다목표우화구해.채용300mm적정원제조계통수거진행방진실험병여전통적Intrabay계통조도방법진행비교,결과표명해방법재Intrabay계통화정원가공계통적다개지표종합성능방면우우전통Intrabay계통조도방법,험증료Intrabay계통다목표실시조도방법적유효성.
