黑龙江科技信息
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흑룡강과기신식
HEILONGJIANG SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2013年
7期
53,297
,共2页
陈淼%陈浩%王洪涛%聂英斌
陳淼%陳浩%王洪濤%聶英斌
진묘%진호%왕홍도%섭영빈
类金刚石薄膜%摩擦学性能%热稳定性%内应力%掺杂%多层膜
類金剛石薄膜%摩抆學性能%熱穩定性%內應力%摻雜%多層膜
류금강석박막%마찰학성능%열은정성%내응력%참잡%다층막
本文综述了类金刚石薄膜材料常用的制备工艺及其相应结构和摩擦学性能.针对该薄膜材料在应用过程中存在的热稳定性差及内应力较大两方面问题,阐述了目前应用较为广泛的解决工艺.结合DLC薄膜优异的摩擦学性能展望了其在空间固体润滑技术领域以及新能源领域广泛的应用前景.
本文綜述瞭類金剛石薄膜材料常用的製備工藝及其相應結構和摩抆學性能.針對該薄膜材料在應用過程中存在的熱穩定性差及內應力較大兩方麵問題,闡述瞭目前應用較為廣汎的解決工藝.結閤DLC薄膜優異的摩抆學性能展望瞭其在空間固體潤滑技術領域以及新能源領域廣汎的應用前景.
본문종술료류금강석박막재료상용적제비공예급기상응결구화마찰학성능.침대해박막재료재응용과정중존재적열은정성차급내응력교대량방면문제,천술료목전응용교위엄범적해결공예.결합DLC박막우이적마찰학성능전망료기재공간고체윤활기술영역이급신능원영역엄범적응용전경.
