吉首大学学报（自然科学版）
吉首大學學報（自然科學版）
길수대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JISHOU UNIVERSITY
2013年
3期
31-34
,共4页
李长山%赵鹤平%肖立娟%郝嘉伟
李長山%趙鶴平%肖立娟%郝嘉偉
리장산%조학평%초립연%학가위
AZO薄膜%缓冲层%透过率%光电特性
AZO薄膜%緩遲層%透過率%光電特性
AZO박막%완충층%투과솔%광전특성
采用射频磁控溅射法分别在ZnO缓冲层和Al2O3缓冲层上制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计、霍尔测试仪等仪器对薄膜的光电特性进行表征.XRD分析结果表明,加入缓冲层的薄膜具有更好的c轴择优取向,薄膜的表面平整,结晶质量有所改善,薄膜在可见光范围内的平均透过率超过80％.引入ZnO缓冲层制备的AZO薄膜的最低电阻率为5.8×10-4 Ω·cm,导电性能得到明显提高.
採用射頻磁控濺射法分彆在ZnO緩遲層和Al2O3緩遲層上製備Al摻雜ZnO(AZO)薄膜,利用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、紫外-可見分光光度計、霍爾測試儀等儀器對薄膜的光電特性進行錶徵.XRD分析結果錶明,加入緩遲層的薄膜具有更好的c軸擇優取嚮,薄膜的錶麵平整,結晶質量有所改善,薄膜在可見光範圍內的平均透過率超過80％.引入ZnO緩遲層製備的AZO薄膜的最低電阻率為5.8×10-4 Ω·cm,導電性能得到明顯提高.
채용사빈자공천사법분별재ZnO완충층화Al2O3완충층상제비Al참잡ZnO(AZO)박막,이용X사선연사의(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、자외-가견분광광도계、곽이측시의등의기대박막적광전특성진행표정.XRD분석결과표명,가입완충층적박막구유경호적c축택우취향,박막적표면평정,결정질량유소개선,박막재가견광범위내적평균투과솔초과80％.인입ZnO완충층제비적AZO박막적최저전조솔위5.8×10-4 Ω·cm,도전성능득도명현제고.
