常州大学学报（自然科学版）
常州大學學報（自然科學版）
상주대학학보（자연과학판）
Journal of ChangZhou University(Natural Science Edition)
2013年
4期
14-19
,共6页
XY柔性并联微定位平台%大行程%交叉轴解耦%柔度矩阵
XY柔性併聯微定位平檯%大行程%交扠軸解耦%柔度矩陣
XY유성병련미정위평태%대행정%교차축해우%유도구진
XY compliant parallel micro positioning stage%large range motion%cross axis decoupling%compliance matrix
大行程高精度柔性并联微定位平台的需求与日俱增.提出了一种新颖的大行程XY柔性并联微定位平台,它具有镜面对称的结构和冗余约束特性,镜像对称结构能够很好地约束了面内寄生转角和交叉轴耦合,冗余约束在提高系统刚度的同时还降低了运动平台的质量.建立了柔性微定位平台的柔度矩阵模型,用于确定尺寸参数.最后,通过有限元模型分析,并与理论模型对比.结果显示本文所设计的柔性并联微定位平台具有如下特点:20mm×20mm的大运动行程,两运动轴之间具有较高的解耦度,很好地约束了面内寄生转角,其值小于17.76μrad.
大行程高精度柔性併聯微定位平檯的需求與日俱增.提齣瞭一種新穎的大行程XY柔性併聯微定位平檯,它具有鏡麵對稱的結構和冗餘約束特性,鏡像對稱結構能夠很好地約束瞭麵內寄生轉角和交扠軸耦閤,冗餘約束在提高繫統剛度的同時還降低瞭運動平檯的質量.建立瞭柔性微定位平檯的柔度矩陣模型,用于確定呎吋參數.最後,通過有限元模型分析,併與理論模型對比.結果顯示本文所設計的柔性併聯微定位平檯具有如下特點:20mm×20mm的大運動行程,兩運動軸之間具有較高的解耦度,很好地約束瞭麵內寄生轉角,其值小于17.76μrad.
대행정고정도유성병련미정위평태적수구여일구증.제출료일충신영적대행정XY유성병련미정위평태,타구유경면대칭적결구화용여약속특성,경상대칭결구능구흔호지약속료면내기생전각화교차축우합,용여약속재제고계통강도적동시환강저료운동평태적질량.건립료유성미정위평태적유도구진모형,용우학정척촌삼수.최후,통과유한원모형분석,병여이론모형대비.결과현시본문소설계적유성병련미정위평태구유여하특점:20mm×20mm적대운동행정,량운동축지간구유교고적해우도,흔호지약속료면내기생전각,기치소우17.76μrad.
