集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术
집성전로생산선다구역설비수거쾌속채집집성기술
Integrated Circuit Production Line Multiregion Equipment Data Rapid Acquisition Integration Technology
  • 万方数据
    工业控制计算机 공업공제계산궤
    INDUSTRY CONTROL COMPUTER
    2013年 12期 106-107 ,共2页

    裴志伟%姬小兵

    배지위%희소병

    Host%SEMI%HSMS%TRACE%SQL Server Host%SEMI%HSMS%TRACE%SQL Server
    Host%SEMI%HSMS%TRACE%SQL Server
    介绍了集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术的实现方法,多个Host服务分区域管理生产线中的设备,遵循SEMI相关标准,与生产线设备建立通讯链路,采用周期订阅的方式采集Host服务所管控的区域设备数据,并将采集数据存储于远程SQL Server数据服务器进行数据集成.
    개소료집성전로생산선다구역설비수거쾌속채집집성기술적실현방법,다개Host복무분구역관리생산선중적설비,준순SEMI상관표준,여생산선설비건립통신련로,채용주기정열적방식채집Host복무소관공적구역설비수거,병장채집수거존저우원정SQL Server수거복무기진행수거집성.
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