CAJ | 학술논문

使用反应直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ITO薄膜作为CdTe多晶薄膜太阳电池的前电极,研究了氧分压和衬底温度对ITO薄膜光电性能及结构的影响.通过四探针、紫外可见分光光度仪,X射线衍射(XRD)和霍尔测试仪等测试手段对薄膜进行了表征.结果表明:随着氧分压和衬底温度的升高,ITO薄膜在可见光区域的透过性能明显增强,但是薄膜的载流子浓度下降,霍尔迁移率也逐渐降低,同时薄膜的电阻率逐渐增大.在结果分析的基础上,选用衬底温度300℃,1.4％的氧分压条件制备出可见光透过率在80％以上,电阻率为5.3×10-4Ωcm的ITO薄膜,将其应用于碲化镉多晶薄膜太阳电池,电池的转换率可以达到10.7％.
사용반응직류자공천사법재파리츤저상제비료ITO박막작위CdTe다정박막태양전지적전전겁,연구료양분압화츤저온도대ITO박막광전성능급결구적영향.통과사탐침、자외가견분광광도의,X사선연사(XRD)화곽이측시의등측시수단대박막진행료표정.결과표명:수착양분압화츤저온도적승고,ITO박막재가견광구역적투과성능명현증강,단시박막적재류자농도하강,곽이천이솔야축점강저,동시박막적전조솔축점증대.재결과분석적기출상,선용츤저온도300℃,1.4％적양분압조건제비출가견광투과솔재80％이상,전조솔위5.3×10-4Ωcm적ITO박막,장기응용우제화력다정박막태양전지,전지적전환솔가이체도10.7％.