上海工程技术大学学报
上海工程技術大學學報
상해공정기술대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY OF ENGINEERING SCIENCE
2013年
3期
244-247
,共4页
射频磁控溅射%类金刚石薄膜%膜基结合力
射頻磁控濺射%類金剛石薄膜%膜基結閤力
사빈자공천사%류금강석박막%막기결합력
采用射频磁控溅射法在Si和Ti合金基体上沉积出类金刚石(DLC)薄膜.利用拉曼光谱仪、划痕仪和扫描电子显微镜分析了DLC薄膜的结构、膜基附着力和表面形貌.结果表明:射频磁控溅射法能够制备出表面平整、结构致密的DLC薄膜;同时基体材料的不同不会影响DLC薄膜的键合结构,Si基体上涂层附着力为30N,Ti基体上膜基结合力大于40 N.
採用射頻磁控濺射法在Si和Ti閤金基體上沉積齣類金剛石(DLC)薄膜.利用拉曼光譜儀、劃痕儀和掃描電子顯微鏡分析瞭DLC薄膜的結構、膜基附著力和錶麵形貌.結果錶明:射頻磁控濺射法能夠製備齣錶麵平整、結構緻密的DLC薄膜;同時基體材料的不同不會影響DLC薄膜的鍵閤結構,Si基體上塗層附著力為30N,Ti基體上膜基結閤力大于40 N.
채용사빈자공천사법재Si화Ti합금기체상침적출류금강석(DLC)박막.이용랍만광보의、화흔의화소묘전자현미경분석료DLC박막적결구、막기부착력화표면형모.결과표명:사빈자공천사법능구제비출표면평정、결구치밀적DLC박막;동시기체재료적불동불회영향DLC박막적건합결구,Si기체상도층부착력위30N,Ti기체상막기결합력대우40 N.
