江苏大学学报（自然科学版）
江囌大學學報（自然科學版）
강소대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGSU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
6期
719-722
,共4页
刘海霞%叶云霞%薛青%陈瑞芳%花银群
劉海霞%葉雲霞%薛青%陳瑞芳%花銀群
류해하%협운하%설청%진서방%화은군
纳米铜薄膜%激光冲击%磁控溅射%显微硬度%弹性模量
納米銅薄膜%激光遲擊%磁控濺射%顯微硬度%彈性模量
납미동박막%격광충격%자공천사%현미경도%탄성모량
nanometer copper thin film%laser shock processing%magnetron sputtering%microhardness%elastic modulus
应用激光微冲击强化处理技术,对不同磁控溅射参数下制备的纳米铜薄膜进行了强化处理,并对其表面形貌、硬度、弹性模量进行了测试和分析.结果表明:纳米铜薄膜经激光微冲击处理后,SEM显示薄膜表层的铜晶粒发生了明显的塑性形变,在厚度方向上被压平,晶粒边界处的细小空隙被填充,表面变得致密,颗粒尺寸明显增大.在每组试样的冲击区和非冲击区进行了多组纳米压痕试验,以确定冲击后铜薄膜力学性能的变化.经测试,各组试样冲击处理的条件不同,薄膜力学性能变化有所差异;硬度最小的也增加了38.84％,硬度增加最大的达到106.58％;弹性模量最小提高了14.62％,弹性模量最大提高了134.82％.
應用激光微遲擊彊化處理技術,對不同磁控濺射參數下製備的納米銅薄膜進行瞭彊化處理,併對其錶麵形貌、硬度、彈性模量進行瞭測試和分析.結果錶明:納米銅薄膜經激光微遲擊處理後,SEM顯示薄膜錶層的銅晶粒髮生瞭明顯的塑性形變,在厚度方嚮上被壓平,晶粒邊界處的細小空隙被填充,錶麵變得緻密,顆粒呎吋明顯增大.在每組試樣的遲擊區和非遲擊區進行瞭多組納米壓痕試驗,以確定遲擊後銅薄膜力學性能的變化.經測試,各組試樣遲擊處理的條件不同,薄膜力學性能變化有所差異;硬度最小的也增加瞭38.84％,硬度增加最大的達到106.58％;彈性模量最小提高瞭14.62％,彈性模量最大提高瞭134.82％.
응용격광미충격강화처리기술,대불동자공천사삼수하제비적납미동박막진행료강화처리,병대기표면형모、경도、탄성모량진행료측시화분석.결과표명:납미동박막경격광미충격처리후,SEM현시박막표층적동정립발생료명현적소성형변,재후도방향상피압평,정립변계처적세소공극피전충,표면변득치밀,과립척촌명현증대.재매조시양적충격구화비충격구진행료다조납미압흔시험,이학정충격후동박막역학성능적변화.경측시,각조시양충격처리적조건불동,박막역학성능변화유소차이;경도최소적야증가료38.84％,경도증가최대적체도106.58％;탄성모량최소제고료14.62％,탄성모량최대제고료134.82％.
