光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
11期
2900-2905
,共6页
陈科位%于宏柱%张善文%齐向东%于海利%冯树龙
陳科位%于宏柱%張善文%齊嚮東%于海利%馮樹龍
진과위%우굉주%장선문%제향동%우해리%풍수룡
光栅刻划机%刀架系统%双频激光干涉仪%检测光路
光柵刻劃機%刀架繫統%雙頻激光榦涉儀%檢測光路
광책각화궤%도가계통%쌍빈격광간섭의%검측광로
grating ruling engine%diamond carriage system%dual-frequency laser interferometer%detection path
设计了一套光栅刻划机刀架系统.该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上,利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离,降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响.分析了刀架运动中产生的误差以及该误差对金刚石刻刀的影响.提出了一种新型检测光路结构,该结构利用双频激光干涉仪测量运动中刀架相对于导向导轨的位移变化.结果显示,刀架单向行程约70 mm时,刀架在光栅刻划阶段相对于导向导轨在分度方向的最大位移值约为60 nm.由于在刻划阶段,膜层对金刚石刻刀存在约束作用,所以金刚石刻刀相对于导向导轨的实际位移会更小.利用新的刀架结构刻制了一块70 mm×70 mm,600 gr/mm的衍射光栅,对比利用原刀架结构刻制的光栅,该光栅杂散光强度减弱,质量提高.
設計瞭一套光柵刻劃機刀架繫統.該繫統將刻劃刀具部分安裝于能繞鞍形滑塊自由轉動的安裝闆上,利用鉸鏈機構來實現瞭刀架刻劃部分與承重部分的分離,降低運動中鞍形滑塊的變形、偏移等對金剛石刻刀的影響.分析瞭刀架運動中產生的誤差以及該誤差對金剛石刻刀的影響.提齣瞭一種新型檢測光路結構,該結構利用雙頻激光榦涉儀測量運動中刀架相對于導嚮導軌的位移變化.結果顯示,刀架單嚮行程約70 mm時,刀架在光柵刻劃階段相對于導嚮導軌在分度方嚮的最大位移值約為60 nm.由于在刻劃階段,膜層對金剛石刻刀存在約束作用,所以金剛石刻刀相對于導嚮導軌的實際位移會更小.利用新的刀架結構刻製瞭一塊70 mm×70 mm,600 gr/mm的衍射光柵,對比利用原刀架結構刻製的光柵,該光柵雜散光彊度減弱,質量提高.
설계료일투광책각화궤도가계통.해계통장각화도구부분안장우능요안형활괴자유전동적안장판상,이용교련궤구래실현료도가각화부분여승중부분적분리,강저운동중안형활괴적변형、편이등대금강석각도적영향.분석료도가운동중산생적오차이급해오차대금강석각도적영향.제출료일충신형검측광로결구,해결구이용쌍빈격광간섭의측량운동중도가상대우도향도궤적위이변화.결과현시,도가단향행정약70 mm시,도가재광책각화계단상대우도향도궤재분도방향적최대위이치약위60 nm.유우재각화계단,막층대금강석각도존재약속작용,소이금강석각도상대우도향도궤적실제위이회경소.이용신적도가결구각제료일괴70 mm×70 mm,600 gr/mm적연사광책,대비이용원도가결구각제적광책,해광책잡산광강도감약,질량제고.
