光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
11期
2893-2899
,共7页
张翊%潘峰%包达群%王建艳%郭航
張翊%潘峰%包達群%王建豔%郭航
장익%반봉%포체군%왕건염%곽항
锆钛酸铅薄膜%热处理%退火%铁电特性%溶胶凝胶法
鋯鈦痠鉛薄膜%熱處理%退火%鐵電特性%溶膠凝膠法
고태산연박막%열처리%퇴화%철전특성%용효응효법
lead zirconate titanate thin film%heat treatment%annealing%ferroelectric properties%solgel method
研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrr,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试.根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试.在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品.然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试.结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中.
研究瞭如何利用溶膠凝膠法製備鋯鈦痠鉛(Pb(Zrr,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,併對該薄膜的進行瞭錶徵測試.根據分子式設計瞭溶液的成分及配比,配製溶液後鏇塗于鈦(Ti)及鉑/鈦(Pt/Ti)基底上.利用X射線衍射儀(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對不同熱處理溫度和不同退火溫度的PZT薄膜的形貌、成分進行瞭錶徵測試.在此基礎上,採用微機電繫統(MEMS)工藝,開髮瞭可用于測試PZT薄膜材料特性的工藝流程與測試樣品.然後,利用標準鐵電測試儀對不同熱處理溫度和不同退火溫度的PZT薄膜的極化彊度進行瞭鐵電特性測試.結果錶明,在400℃進行熱處理,650℃進行退火的條件下製備齣的PZT薄膜其成分和形貌比較好,鐵電特性較優,能夠應用于MEMS器件與納米器件的製造中.
연구료여하이용용효응효법제비고태산연(Pb(Zrr,Ti1-x)O3,PZT)박막,병대해박막적진행료표정측시.근거분자식설계료용액적성분급배비,배제용액후선도우태(Ti)급박/태(Pt/Ti)기저상.이용X사선연사의(XRD)화원자력현미경(AFM)대불동열처리온도화불동퇴화온도적PZT박막적형모、성분진행료표정측시.재차기출상,채용미궤전계통(MEMS)공예,개발료가용우측시PZT박막재료특성적공예류정여측시양품.연후,이용표준철전측시의대불동열처리온도화불동퇴화온도적PZT박막적겁화강도진행료철전특성측시.결과표명,재400℃진행열처리,650℃진행퇴화적조건하제비출적PZT박막기성분화형모비교호,철전특성교우,능구응용우MEMS기건여납미기건적제조중.
