探测与控制学报
探測與控製學報
탐측여공제학보
JOURNAL OF DETECTION & CONTROL
2013年
2期
10-14
,共5页
引信%MEMS%万向开关%柔性电极万
引信%MEMS%萬嚮開關%柔性電極萬
인신%MEMS%만향개관%유성전겁만
针对现有MEMS惯性开关各向响应不一致和闭合时间短等问题,设计了一个采用周边弹簧支撑中心圆形质量块、柔性支撑固定电极结构形式的引信用MEMS万向触发开关.仿真结果表明,开关响应时间不大于300μs.由于采用圆形质量块,开关对0°～90°不同着角的冲击都能可靠响应；由于采用柔性电极,开关的闭合时间从小于10μs延长到30μs以上.
針對現有MEMS慣性開關各嚮響應不一緻和閉閤時間短等問題,設計瞭一箇採用週邊彈簧支撐中心圓形質量塊、柔性支撐固定電極結構形式的引信用MEMS萬嚮觸髮開關.倣真結果錶明,開關響應時間不大于300μs.由于採用圓形質量塊,開關對0°～90°不同著角的遲擊都能可靠響應；由于採用柔性電極,開關的閉閤時間從小于10μs延長到30μs以上.
침대현유MEMS관성개관각향향응불일치화폐합시간단등문제,설계료일개채용주변탄황지탱중심원형질량괴、유성지탱고정전겁결구형식적인신용MEMS만향촉발개관.방진결과표명,개관향응시간불대우300μs.유우채용원형질량괴,개관대0°～90°불동착각적충격도능가고향응；유우채용유성전겁,개관적폐합시간종소우10μs연장도30μs이상.
