长春工业大学学报（自然科学版）
長春工業大學學報（自然科學版）
장춘공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2013年
2期
195-199
,共5页
镀膜机%中阶梯光栅%膜层均匀性
鍍膜機%中階梯光柵%膜層均勻性
도막궤%중계제광책%막층균균성
以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中.在520 mm×520 mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6％降低至±0.96％,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求.
以內徑1.1m的大呎吋中階梯光柵鍍膜機為例,設計瞭提高膜厚均勻性的脩正擋闆,併應用到瞭鍍膜機中.在520 mm×520 mm的鍍膜麵積範圍內,膜層厚度的均勻性誤差從±6％降低至±0.96％,滿足大呎吋中階梯光柵研製的膜厚均勻性要求.
이내경1.1m적대척촌중계제광책도막궤위례,설계료제고막후균균성적수정당판,병응용도료도막궤중.재520 mm×520 mm적도막면적범위내,막층후도적균균성오차종±6％강저지±0.96％,만족대척촌중계제광책연제적막후균균성요구.
