西南民族大学学报（自然科学版）
西南民族大學學報（自然科學版）
서남민족대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHWEST NATIONALITIES COLLEGE·NATURAL SCIENCE EDITION
2013年
3期
401-404
,共4页
反应离子腐蚀%腐蚀速度%腐蚀选择比%NF3
反應離子腐蝕%腐蝕速度%腐蝕選擇比%NF3
반응리자부식%부식속도%부식선택비%NF3
选取4英寸的晶元切割制成相同的测试样品.试验研究不同的腐蚀气体,以及混合气体配比腐蚀效果,得到对本试验所生成结构有利的腐蚀介质.研究调节腐蚀过程中的气体流速,压强,高频功率等参数组合,取得比试验参考数据高腐蚀速度,良好的表面平整度,较高的腐蚀的选择比.器件结构的角度满足制作印制印章所需的脱模角度,实验研究讨论了不同工艺参数对反应离子腐蚀过程的作用的原理和影响,有助于分析和调节反应离子腐蚀的过程.
選取4英吋的晶元切割製成相同的測試樣品.試驗研究不同的腐蝕氣體,以及混閤氣體配比腐蝕效果,得到對本試驗所生成結構有利的腐蝕介質.研究調節腐蝕過程中的氣體流速,壓彊,高頻功率等參數組閤,取得比試驗參攷數據高腐蝕速度,良好的錶麵平整度,較高的腐蝕的選擇比.器件結構的角度滿足製作印製印章所需的脫模角度,實驗研究討論瞭不同工藝參數對反應離子腐蝕過程的作用的原理和影響,有助于分析和調節反應離子腐蝕的過程.
선취4영촌적정원절할제성상동적측시양품.시험연구불동적부식기체,이급혼합기체배비부식효과,득도대본시험소생성결구유리적부식개질.연구조절부식과정중적기체류속,압강,고빈공솔등삼수조합,취득비시험삼고수거고부식속도,량호적표면평정도,교고적부식적선택비.기건결구적각도만족제작인제인장소수적탈모각도,실험연구토론료불동공예삼수대반응리자부식과정적작용적원리화영향,유조우분석화조절반응리자부식적과정.
