西安电子科技大学学报（自然科学版）
西安電子科技大學學報（自然科學版）
서안전자과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2013年
3期
121-125
,共5页
赵丽霞%张鹤鸣%戴显英%宣荣喜
趙麗霞%張鶴鳴%戴顯英%宣榮喜
조려하%장학명%대현영%선영희
应变Si%各向异性%迁移率
應變Si%各嚮異性%遷移率
응변Si%각향이성%천이솔
采用kp微扰理论,基于费米黄金法则及玻尔兹曼方程碰撞项近似理论,对(101)晶面双轴应变Si材料应力致迁移率增强机理进行了系统深入的研究.结果表明:双轴应变Si(101)材料高对称晶向空穴迁移率在应力作用下均有明显增强,其空穴统观迁移率与未应变Si材料相比,最多提高约2倍.文中所得量化模型可为应变Si材料物理的深入理解及应变材料、器件的研究与设计提供有价值的参考.
採用kp微擾理論,基于費米黃金法則及玻爾玆曼方程踫撞項近似理論,對(101)晶麵雙軸應變Si材料應力緻遷移率增彊機理進行瞭繫統深入的研究.結果錶明:雙軸應變Si(101)材料高對稱晶嚮空穴遷移率在應力作用下均有明顯增彊,其空穴統觀遷移率與未應變Si材料相比,最多提高約2倍.文中所得量化模型可為應變Si材料物理的深入理解及應變材料、器件的研究與設計提供有價值的參攷.
채용kp미우이론,기우비미황금법칙급파이자만방정팽당항근사이론,대(101)정면쌍축응변Si재료응력치천이솔증강궤리진행료계통심입적연구.결과표명:쌍축응변Si(101)재료고대칭정향공혈천이솔재응력작용하균유명현증강,기공혈통관천이솔여미응변Si재료상비,최다제고약2배.문중소득양화모형가위응변Si재료물리적심입리해급응변재료、기건적연구여설계제공유개치적삼고.
