深圳职业技术学院学报
深圳職業技術學院學報
심수직업기술학원학보
JOURNAL OF SHENZHEN POLYTECNIC
2013年
3期
64-69,74
,共7页
残余应力%应力分布%氮化物硬质薄膜
殘餘應力%應力分佈%氮化物硬質薄膜
잔여응력%응력분포%담화물경질박막
文章讨论了几种薄膜残余应力测试方法的优缺点,介绍了氮化物薄膜应力沿层深分布趋势的最新研究,偏压和N2分压工艺对薄膜应力的影响及几种调节薄膜残余应力的有效方法.脉冲偏压增大,薄膜残余应力显著增加;N2分压增大,薄膜残余应力显著增加.采用独立变化脉冲偏压或变化N2分压工艺制备的薄膜,其残余应力沿层深分布趋势明显均匀,薄膜残余应力可得到有效调整.
文章討論瞭幾種薄膜殘餘應力測試方法的優缺點,介紹瞭氮化物薄膜應力沿層深分佈趨勢的最新研究,偏壓和N2分壓工藝對薄膜應力的影響及幾種調節薄膜殘餘應力的有效方法.脈遲偏壓增大,薄膜殘餘應力顯著增加;N2分壓增大,薄膜殘餘應力顯著增加.採用獨立變化脈遲偏壓或變化N2分壓工藝製備的薄膜,其殘餘應力沿層深分佈趨勢明顯均勻,薄膜殘餘應力可得到有效調整.
문장토론료궤충박막잔여응력측시방법적우결점,개소료담화물박막응력연층심분포추세적최신연구,편압화N2분압공예대박막응력적영향급궤충조절박막잔여응력적유효방법.맥충편압증대,박막잔여응력현저증가;N2분압증대,박막잔여응력현저증가.채용독립변화맥충편압혹변화N2분압공예제비적박막,기잔여응력연층심분포추세명현균균,박막잔여응력가득도유효조정.
