计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2013年
5期
11-12,14
,共3页
差压传感器%SOS(硅-蓝宝石)%扩散硅%压阻效应
差壓傳感器%SOS(硅-藍寶石)%擴散硅%壓阻效應
차압전감기%SOS(규-람보석)%확산규%압조효응
小型耐高温压差传感器主要用于高温状态下测量发动机活塞两腔压力差.采用SOS(硅-蓝宝石)材料制作硅压阻式压力敏感芯片,两只压力敏感元件,分别测量高压端和低压端的压力输出,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出.
小型耐高溫壓差傳感器主要用于高溫狀態下測量髮動機活塞兩腔壓力差.採用SOS(硅-藍寶石)材料製作硅壓阻式壓力敏感芯片,兩隻壓力敏感元件,分彆測量高壓耑和低壓耑的壓力輸齣,再利用精密的信號處理電路,將微弱的電信號進行放大處理,實現標準的模擬信號輸齣.
소형내고온압차전감기주요용우고온상태하측량발동궤활새량강압력차.채용SOS(규-람보석)재료제작규압조식압력민감심편,량지압력민감원건,분별측량고압단화저압단적압력수출,재이용정밀적신호처리전로,장미약적전신호진행방대처리,실현표준적모의신호수출.
