强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
7期
1867-1872
,共6页
酉小广%成永红%孟国栋%吴锴%孟永鹏
酉小廣%成永紅%孟國棟%吳鍇%孟永鵬
유소엄%성영홍%맹국동%오개%맹영붕
微机电系统%纳秒脉冲%电气击穿%微间隙%流注理论%扫描电镜
微機電繫統%納秒脈遲%電氣擊穿%微間隙%流註理論%掃描電鏡
미궤전계통%납초맥충%전기격천%미간극%류주이론%소묘전경
利用微机电系统(MEMS)工艺制备了5～40 μm间隙的金属铝薄膜电极,测取了不同间隙下施加纳秒方波脉冲时的击穿电压,得到击穿电压和平均场强随电极间隙的变化规律,研究了脉宽、极性对击穿电压的影响,结合击穿后微电极扫描电镜观察结果讨论了其击穿机理,并与相同试样在直流下的结果进行了对比.研究表明:击穿电压随微间隙距离的增大而增大,击穿场强则随着间隙的增大迅速减小；与直流同间隙的击穿电压相比,脉冲作用下的击穿电压并不像宏观尺度下那样高出很多；试样击穿机理应为流注理论.在脉冲作用下,阳极出现了分层熔化现象,由于作用时间很短,阳极表面并未出现类似于直流击穿时留下的“坑洞”；阴极则出现了溅射沉积现象,只是沉积物质相对较少.
利用微機電繫統(MEMS)工藝製備瞭5～40 μm間隙的金屬鋁薄膜電極,測取瞭不同間隙下施加納秒方波脈遲時的擊穿電壓,得到擊穿電壓和平均場彊隨電極間隙的變化規律,研究瞭脈寬、極性對擊穿電壓的影響,結閤擊穿後微電極掃描電鏡觀察結果討論瞭其擊穿機理,併與相同試樣在直流下的結果進行瞭對比.研究錶明:擊穿電壓隨微間隙距離的增大而增大,擊穿場彊則隨著間隙的增大迅速減小；與直流同間隙的擊穿電壓相比,脈遲作用下的擊穿電壓併不像宏觀呎度下那樣高齣很多；試樣擊穿機理應為流註理論.在脈遲作用下,暘極齣現瞭分層鎔化現象,由于作用時間很短,暘極錶麵併未齣現類似于直流擊穿時留下的“坑洞”；陰極則齣現瞭濺射沉積現象,隻是沉積物質相對較少.
이용미궤전계통(MEMS)공예제비료5～40 μm간극적금속려박막전겁,측취료불동간극하시가납초방파맥충시적격천전압,득도격천전압화평균장강수전겁간극적변화규률,연구료맥관、겁성대격천전압적영향,결합격천후미전겁소묘전경관찰결과토론료기격천궤리,병여상동시양재직류하적결과진행료대비.연구표명:격천전압수미간극거리적증대이증대,격천장강칙수착간극적증대신속감소；여직류동간극적격천전압상비,맥충작용하적격천전압병불상굉관척도하나양고출흔다；시양격천궤리응위류주이론.재맥충작용하,양겁출현료분층용화현상,유우작용시간흔단,양겁표면병미출현유사우직류격천시류하적“갱동”；음겁칙출현료천사침적현상,지시침적물질상대교소.
