中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
10期
1336-1339
,共4页
杨丽红%赵源深%陈皓帆%孙金祥
楊麗紅%趙源深%陳皓帆%孫金祥
양려홍%조원심%진호범%손금상
薄膜热电偶%动态特性%传热模型%时间常数
薄膜熱電偶%動態特性%傳熱模型%時間常數
박막열전우%동태특성%전열모형%시간상수
具有快速响应特性的薄膜热电偶非常适用于测量瞬变温度,其动态特性理论分析一直都是研究的重点和难点.以流体为被测对象,提出了以对流换热为边界条件的薄膜热电偶一维非稳态传热模型,并依据此模型模拟Cu/CuNi薄膜热电偶阶跃温度响应,同时利用迅速投掷法对用磁控溅射法制备的热结点厚度为1μm的Cu/CuNi薄膜热电偶进行动态标定.模拟和实验结果都表明薄膜热电偶阶跃响应近似于一阶系统,可以用时间常数来反映动态特性,理论和实测的时间常数分别为4.28ms和7.89ms.从结果可以看出,理论值接近实验值,从而验证了该模型的合理性,为进一步提高薄膜热电偶的动态特性提供了理论基础.
具有快速響應特性的薄膜熱電偶非常適用于測量瞬變溫度,其動態特性理論分析一直都是研究的重點和難點.以流體為被測對象,提齣瞭以對流換熱為邊界條件的薄膜熱電偶一維非穩態傳熱模型,併依據此模型模擬Cu/CuNi薄膜熱電偶階躍溫度響應,同時利用迅速投擲法對用磁控濺射法製備的熱結點厚度為1μm的Cu/CuNi薄膜熱電偶進行動態標定.模擬和實驗結果都錶明薄膜熱電偶階躍響應近似于一階繫統,可以用時間常數來反映動態特性,理論和實測的時間常數分彆為4.28ms和7.89ms.從結果可以看齣,理論值接近實驗值,從而驗證瞭該模型的閤理性,為進一步提高薄膜熱電偶的動態特性提供瞭理論基礎.
구유쾌속향응특성적박막열전우비상괄용우측량순변온도,기동태특성이론분석일직도시연구적중점화난점.이류체위피측대상,제출료이대류환열위변계조건적박막열전우일유비은태전열모형,병의거차모형모의Cu/CuNi박막열전우계약온도향응,동시이용신속투척법대용자공천사법제비적열결점후도위1μm적Cu/CuNi박막열전우진행동태표정.모의화실험결과도표명박막열전우계약향응근사우일계계통,가이용시간상수래반영동태특성,이론화실측적시간상수분별위4.28ms화7.89ms.종결과가이간출,이론치접근실험치,종이험증료해모형적합이성,위진일보제고박막열전우적동태특성제공료이론기출.
