功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
10期
1469-1471
,共3页
多铁性%BiFeO3%快速等离子烧结%铁电铁磁性
多鐵性%BiFeO3%快速等離子燒結%鐵電鐵磁性
다철성%BiFeO3%쾌속등리자소결%철전철자성
采用快速等离子烧结法(SPS)制得纯相BiFeO3靶材,利用脉冲激光沉积(PLD)法将其沉积在Si(100)衬底上,制得BiFeO3薄膜.通过调节各种工艺参数,在沉积温度650℃,氧压2Pa,靶基距5cm,脉冲激光频率7Hz、激光能量350mJ条件下获得了高择优取向、高结晶度的BiFeO3薄膜.在此工艺条件下,又制备了不同厚度的BiFeO3薄膜.用XRD、SEM等手段对薄膜相和形貌进行了表征.结果表明,制备的薄膜有较高的形貌质量,薄膜的铁电、铁磁性能呈现出与厚度的强相关性；其中300nm厚的薄膜质量最好.
採用快速等離子燒結法(SPS)製得純相BiFeO3靶材,利用脈遲激光沉積(PLD)法將其沉積在Si(100)襯底上,製得BiFeO3薄膜.通過調節各種工藝參數,在沉積溫度650℃,氧壓2Pa,靶基距5cm,脈遲激光頻率7Hz、激光能量350mJ條件下穫得瞭高擇優取嚮、高結晶度的BiFeO3薄膜.在此工藝條件下,又製備瞭不同厚度的BiFeO3薄膜.用XRD、SEM等手段對薄膜相和形貌進行瞭錶徵.結果錶明,製備的薄膜有較高的形貌質量,薄膜的鐵電、鐵磁性能呈現齣與厚度的彊相關性；其中300nm厚的薄膜質量最好.
채용쾌속등리자소결법(SPS)제득순상BiFeO3파재,이용맥충격광침적(PLD)법장기침적재Si(100)츤저상,제득BiFeO3박막.통과조절각충공예삼수,재침적온도650℃,양압2Pa,파기거5cm,맥충격광빈솔7Hz、격광능량350mJ조건하획득료고택우취향、고결정도적BiFeO3박막.재차공예조건하,우제비료불동후도적BiFeO3박막.용XRD、SEM등수단대박막상화형모진행료표정.결과표명,제비적박막유교고적형모질량,박막적철전、철자성능정현출여후도적강상관성；기중300nm후적박막질량최호.
