传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
3期
357-360
,共4页
王攀%黄丽斌%李宏生%倪云舫
王攀%黃麗斌%李宏生%倪雲舫
왕반%황려빈%리굉생%예운방
检测电路%正交校正%校正电极%闭环控制
檢測電路%正交校正%校正電極%閉環控製
검측전로%정교교정%교정전겁%폐배공제
针对硅微陀螺仪中正交误差的来源进行了分析,设计了一种基于正交校正电极的闭环控制回路.该电路通过正交校正电极产生静电耦合刚度,以此来抵消结构耦合刚度,从而抑制正交误差.给出了设计方案的原理框图,利用Simulink对整个控制回路进行仿真,仿真结果表明该方案能够较好地抑制正交误差.对加入正交校正前后的硅微陀螺仪样机进行了测试,实验结果表明加入闭环正交校正后,陀螺仪样机的正交误差信号已基本消除,零偏稳定性较校正前提高了一倍以上.
針對硅微陀螺儀中正交誤差的來源進行瞭分析,設計瞭一種基于正交校正電極的閉環控製迴路.該電路通過正交校正電極產生靜電耦閤剛度,以此來牴消結構耦閤剛度,從而抑製正交誤差.給齣瞭設計方案的原理框圖,利用Simulink對整箇控製迴路進行倣真,倣真結果錶明該方案能夠較好地抑製正交誤差.對加入正交校正前後的硅微陀螺儀樣機進行瞭測試,實驗結果錶明加入閉環正交校正後,陀螺儀樣機的正交誤差信號已基本消除,零偏穩定性較校正前提高瞭一倍以上.
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