传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
3期
333-337
,共5页
刘岗%梁庭%林斯佳%李颖%刘俊
劉崗%樑庭%林斯佳%李穎%劉俊
류강%량정%림사가%리영%류준
铌酸锂晶片%热释电探测器%红外吸收%电路设计
鈮痠鋰晶片%熱釋電探測器%紅外吸收%電路設計
니산리정편%열석전탐측기%홍외흡수%전로설계
通过红外热释电探测器工作原理的分析,采用合适的半导体加工工艺将铌酸锂晶体母材减薄,并对减薄后铌酸锂晶片进行溅射、镀膜将其制成红外敏感单元.选用CMOS放大器与匹配的电阻、电容组成前置放大电路,对热释电信号进行放大和转换；根据红外光谱吸收原理,在敏感单元前封装了窄带滤光片从而提高了敏感单元选择吸收的性能.将敏感单元、前置放大电路和窄带滤波片三部分封装在一个壳体内,红外探测器制作成功.设计了信号调理电路,对从探测器得到的热释电信号进行二次放大和滤波；搭建了探测器响应测试系统,对探测器的性能进行测试,测试验证了该探测器设计的合理性.
通過紅外熱釋電探測器工作原理的分析,採用閤適的半導體加工工藝將鈮痠鋰晶體母材減薄,併對減薄後鈮痠鋰晶片進行濺射、鍍膜將其製成紅外敏感單元.選用CMOS放大器與匹配的電阻、電容組成前置放大電路,對熱釋電信號進行放大和轉換；根據紅外光譜吸收原理,在敏感單元前封裝瞭窄帶濾光片從而提高瞭敏感單元選擇吸收的性能.將敏感單元、前置放大電路和窄帶濾波片三部分封裝在一箇殼體內,紅外探測器製作成功.設計瞭信號調理電路,對從探測器得到的熱釋電信號進行二次放大和濾波；搭建瞭探測器響應測試繫統,對探測器的性能進行測試,測試驗證瞭該探測器設計的閤理性.
통과홍외열석전탐측기공작원리적분석,채용합괄적반도체가공공예장니산리정체모재감박,병대감박후니산리정편진행천사、도막장기제성홍외민감단원.선용CMOS방대기여필배적전조、전용조성전치방대전로,대열석전신호진행방대화전환；근거홍외광보흡수원리,재민감단원전봉장료착대려광편종이제고료민감단원선택흡수적성능.장민감단원、전치방대전로화착대려파편삼부분봉장재일개각체내,홍외탐측기제작성공.설계료신호조리전로,대종탐측기득도적열석전신호진행이차방대화려파；탑건료탐측기향응측시계통,대탐측기적성능진행측시,측시험증료해탐측기설계적합이성.
